Üstün sıxlığı və istilik keçiriciliyi ilə Epitaksial Böyümə üçün Semicorex SiC Örtülü Barrel Susseptoru yüksək temperatur və korroziyalı mühitlərdə istifadə üçün ideal seçimdir. Yüksək təmizlikdə SiC ilə örtülmüş bu qrafit məhsulu əla qoruma və istilik paylanması təmin edərək, yarımkeçiricilərin istehsalında etibarlı və ardıcıl performansı təmin edir.
Epitaksial böyümə üçün Semicorex SiC örtüklü çəllək tutucusu əla istilik keçiriciliyi və istilik paylama xüsusiyyətləri sayəsində yarımkeçirici vaflilərdə epiksial təbəqənin formalaşması üçün mükəmməl seçimdir. Onun silisium karbid örtüyü hətta ən tələbkar yüksək temperatur və korroziyalı mühitlərdə də üstün qoruma təmin edir.
Semicorex-də biz müştərilərimizə yüksək keyfiyyətli, sərfəli məhsullar təqdim etməyə diqqət yetiririk. Epitaksial Böyümə üçün SiC Kaplamalı Barrel Susseptorumuz qiymət üstünlüyünə malikdir və bir çox Avropa və Amerika bazarlarına ixrac olunur. Ardıcıl keyfiyyətli məhsullar və müstəsna müştəri xidməti təqdim edərək uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı hədəfləyirik.
Epitaksial böyümə üçün SiC ilə örtülmüş çəllək tutucunun parametrləri
CVD-SIC Kaplamasının Əsas Xüsusiyyətləri |
||
SiC-CVD Xüsusiyyətləri |
||
Kristal strukturu |
FCC β fazası |
|
Sıxlıq |
q/sm³ |
3.21 |
Sərtlik |
Vickers sərtliyi |
2500 |
Taxıl ölçüsü |
μm |
2~10 |
Kimyəvi Saflıq |
% |
99.99995 |
İstilik tutumu |
J kq-1 K-1 |
640 |
Sublimasiya temperaturu |
℃ |
2700 |
Feleksual Gücü |
MPa (RT 4 bal) |
415 |
Gəncin Modulu |
Gpa (4pt əyilmə, 1300℃) |
430 |
Termal Genişlənmə (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
İstilik keçiriciliyi |
(Vt/mK) |
300 |
Epitaksial böyümə üçün SiC ilə örtülmüş çəllək tutucunun xüsusiyyətləri
- Həm qrafit substratı, həm də silisium karbid təbəqəsi yaxşı sıxlığa malikdir və yüksək temperatur və aşındırıcı iş mühitlərində yaxşı qoruyucu rol oynaya bilər.
- Tək kristalların böyüməsi üçün istifadə edilən silisium karbid örtüklü suseptor çox yüksək səth düzlüyünə malikdir.
- Qrafit substratı və silisium karbid təbəqəsi arasında istilik genişlənmə əmsalı fərqini azaldın, çatlama və delaminasiyanın qarşısını almaq üçün yapışma gücünü effektiv şəkildə yaxşılaşdırın.
- Həm qrafit substratı, həm də silisium karbid təbəqəsi yüksək istilik keçiriciliyinə və əla istilik paylama xüsusiyyətlərinə malikdir.
- Yüksək ərimə nöqtəsi, yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti, korroziyaya davamlılıq.