Poly-Si yivli üzüklər

Poly-Si yivli üzüklər adətən qabaqcıl yarımkeçirici aşındırma avadanlığının reaksiya kamerasında quraşdırılır. Onlar silisium da daxil olmaqla, silikon hissələri ilə sinerji ilə işləyirlərfokus halqaları, silikon xarici üzüklər və silikonduş başlıqları. Bu hissələr mükəmməl işləməni təmin edərək, aşındırma prosesi üçün sabit və optimal reaksiya mühiti yarada biləraşındırmadəqiqlik və proses ardıcıllığı.

Semicorex poly-Si yivli halqaların funksiyaları

1. Semicorex poly-Si yivli halqaları reaksiyadan sonra texnoloji qazların hamar şəkildə buraxılmasına imkan verən qaz keçidi kimi xidmət edən çoxlu bərabər paylanmış yuvalarla təchiz edilmişdir.

2. Semicorex poly-Si yivli halqaları yarımkeçirici aşındırma avadanlığının reaksiya kamerası üçün etibarlı qorunma təklif edərək əla plazma nəzarətinə nail ola bilir.

3. Semicorex poly-Si yivli üzüklər elektrik sahəsini və kamera təzyiqini tənzimləməyə kömək edə bilər, beləliklə qeyri-sabitliyin aşındırma prosesinin tutarlılığına təsir göstərməsinin qarşısını alır.

Yüksək standart material seçimi

Semicorex poly-Si yivli üzüklər 99,9999%-dən yuxarı təmizlik səviyyəsinə malik yüksək keyfiyyətli polikristal silisiumdan istehsal olunur ki, bu da onlara aşağıdakı kimi üstün xüsusiyyətlər bəxş edir.

1. Ultra yüksək təmizlik və son dərəcə aşağı çirk tərkibi.

2. Müstəsna plazma korroziyaya davamlılığı.

3. Əlverişli elektrik xüsusiyyətləri, müqavimət vahidliyi ilə: RRG ≤ 5%, aşağı rezonans. (<0,02), orta res. (1-4) və yüksək res. (70-90).

İstehsal imkanları və keyfiyyətə nəzarət

Qabaqcıl emal avadanlıqları və təcrübəli texniki komanda ilə təchiz edilmiş Semicorex hər bir istehsal prosesinə ciddi nəzarət edir və dəyərli müştərilərimizə yüksək keyfiyyətli və yaxşı uyğunlaşdırılmış poli-Si yivli üzüklər təklif edir. Bundan əlavə, Semicorex ölçü ölçüləri, müqavimət testləri və bitmiş poli-Si yivli üzüklərdə çiplər, cızıqlar, çatlar və ləkələr kimi qüsurlardan azad olmasını təmin etmək üçün vizual yoxlamaya ciddi nəzarət edir.