Aşınma üçün Poly-Si Xarici Üzüklər

Adətən ətrafında yerləşdirilirduş başlığı, Poly-Si xarici halqası egzoz halqası ilə duş başlığı arasında birləşdirici hissə rolunu oynayır. ilə əməkdaşlıq edirelektrostatik çəngəl, Si duş başlığı, Si fokus halqası, Si egzoz halqası və Si qoruyucu halqası, yüksək dəqiqlikli aşındırma əməliyyatı üçün davamlı və etibarlı proses mühiti yaradır.

Aşınma üçün Semicorex poly-Si xarici halqalarının üstünlükləri

Oxunma üçün Semicorex poly-Si xarici halqaları yüksək keyfiyyətli polisilikondan dəqiq şəkildə hazırlanır və aşağıdakı əla xüsusiyyət performansını təqdim edir.

1.Yüksək təmizlik və aşağı hissəcik tərkibi

2. Üstün yüksək temperatur müqaviməti və yüksək termal şok müqaviməti

3. Etibarlı korroziyaya davamlılıq

4.Müstəsna elektrik performansı və yüksək elektrik keçiriciliyi vahidliyi

Oşlama üçün Semicorex poly-Si xarici halqalarının funksiyaları

1. Stabil torpaqlama performansı

Elektrodların torpaqlanması və qorunması üçün istifadə edilən Semicorex poly-Si xarici üzükləri aşındırma üçün statik yığılmanın, eləcə də qövs zədələnməsinin qarşısını alır və elektrod sisteminin sabit işləməsini təmin edir, qabaqcıl 3D NAND istehsalı üçün proses tələblərinə mükəmməl cavab verir.

2. Etibarlı dəstək

Oxunma üçün Semicorex poly-Si xarici halqaları egzoz halqasını və duş başlığını birləşdirən vacib komponentlər kimi xidmət edir. Onlar hər iki hissəyə etibarlı mexaniki dəstək verir və onları uyğun yerdə sabit vəziyyətdə saxlayır. Bundan əlavə, aşındırma üçün Semicorex poly-Si xarici halqalarının istifadəsi aşındırma kamerasında plazma eroziyasının qarşısını ala bilər ki, bu da aşındırma əməliyyatının stabil icrasını effektiv şəkildə təmin edir.

3. Aşınma prosesi ilə uyğunluq

Oxunma üçün Semicorex poly-Si xarici halqaları aşağı çirklilik tərkibinə və müstəsna korroziyaya davamlılığa malikdir, silikon vaflilərin istehsalı ilə əla uyğunluq təmin edir, bu da əlavə məhsulun həkk olunmuş çirklənməsi nəticəsində yaranan vafli qüsurlarını xeyli azaldır və yarımkeçirici istehsalında yüksək məhsuldarlığı əhəmiyyətli dərəcədə təmin edir.