Qəbuledici lövhə

Semicorex Susceptor Plate epitaksial böyümə prosesində həlledici komponentdir, nazik təbəqələrin və ya təbəqələrin çökməsi zamanı yarımkeçirici vafliləri daşımaq üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdır. Metal-Üzvi Kimyəvi Buxar Çöküntüsü (MOCVD) kontekstində bu plitələr xüsusilə yüksək temperaturlara tab gətirə bilən və epitaksial təbəqələrin böyüməsi üçün sabit səth təmin edən materiallardan hazırlanmışdır.

Bu prosesdə istifadə edilən Suseptor Plitəsi MOCVD prosesinin özü vasitəsilə silisium karbid (SiC) ilə örtülmüş qrafitdən hazırlanır. Silikon karbid müstəsna istilik sabitliyi, mexaniki qüvvə və kimyəvi reaksiyalara qarşı müqavimət təklif edir, bu da onu epitaksial böyümənin tələbkar şərtləri üçün ideal seçim edir.

MOCVD zamanı Suseptor Plitəsi istiliyi effektiv şəkildə yarımkeçirici vaflilərə ötürməklə əsas rol oynayır. Plitə ətraf mühitdən enerji udur və onu vaflilərə doğru radiasiya edərək, nazik təbəqələrin vafli səthlərinə idarə olunan çöküntüsünü asanlaşdırır. Bu dəqiq temperatur nəzarəti qabaqcıl yarımkeçirici cihazların istehsalında mühüm əhəmiyyət kəsb edən vahid və yüksək keyfiyyətli epitaksial təbəqələrə nail olmaq üçün vacibdir.

MOCVD proseslərində SiC ilə örtülmüş qrafitdən ibarət olan Susseptor Plitəsi yarımkeçirici vafliləri dəstəkləmək, optimal istilik ötürülməsini təmin etmək və yarımkeçirici tətbiqlər üçün arzu olunan xüsusiyyətlərə malik nazik filmlərin uğurlu epitaksial böyüməsinə töhfə vermək üçün etibarlı platforma rolunu oynayır.