Semicorex, Çində Silicon Carbide Coated Graphite Susceptor-un geniş miqyaslı istehsalçısı və təchizatçısıdır. Biz silisium karbid təbəqələri və epitaksiya yarımkeçiriciləri kimi yarımkeçirici sənayelərə diqqət yetiririk. Bizim SiC Epi-Vafer Susceptorumuz yaxşı qiymət üstünlüyünə malikdir və bir çox Avropa və Amerika bazarlarını əhatə edir. Biz sizin uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Semicorex, vafliləri dəstəkləmək üçün istifadə edilən MOCVD ilə örtülmüş SiC Epi-Vafer Susceptor ilə təmin edir. Onların yüksək saflıqda silisium karbid (SiC) ilə örtülmüş qrafit konstruksiyası üstün istilik müqavimətini, ardıcıl epi təbəqənin qalınlığı və müqaviməti üçün hətta termal vahidliyi və davamlı kimyəvi müqaviməti təmin edir. İncə SiC kristal örtüyü təmiz, hamar səth təmin edir, işləmək üçün kritikdir, çünki təmiz vaflilər bütün ərazilərində bir çox nöqtədə həssaslıqla əlaqə saxlayır.
Bizim SiC Epi-Vafer Susseptorumuz istilik profilinin bərabərliyini təmin edərək ən yaxşı laminar qaz axını modelinə nail olmaq üçün nəzərdə tutulmuşdur. Bu, vafli çipində yüksək keyfiyyətli epitaksial böyüməni təmin edərək, hər hansı çirklənmənin və ya çirklərin yayılmasının qarşısını almağa kömək edir.
SiC Epi-Wafer Susceptor haqqında daha çox öyrənmək üçün bu gün bizimlə əlaqə saxlayın.
SiC Epi-Wafer Susceptor parametrləri
CVD-SIC Kaplamasının Əsas Xüsusiyyətləri |
||
SiC-CVD Xüsusiyyətləri |
||
Kristal strukturu |
FCC β mərhələsi |
|
Sıxlıq |
q/sm³ |
3.21 |
Sərtlik |
Vickers sərtliyi |
2500 |
Taxıl ölçüsü |
μm |
2~10 |
Kimyəvi Saflıq |
% |
99.99995 |
İstilik tutumu |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimasiya temperaturu |
℃ |
2700 |
Feleksual Gücü |
MPa (RT 4 bal) |
415 |
Young's Modulu |
Gpa (4pt əyilmə, 1300â) |
430 |
Termal Genişlənmə (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
İstilikkeçirmə |
(Vt/mK) |
300 |
SiC Epi-Wafer Susceptor xüsusiyyətləri
Yüksək təmizlik SiC örtüklü qrafit
Üstün istilik müqaviməti və istilik vahidliyi
Hamar bir səth üçün incə SiC kristalla örtülmüşdür
Kimyəvi təmizləməyə qarşı yüksək davamlılıq
Material çatlar və delaminasiyaların baş verməməsi üçün nəzərdə tutulmuşdur.