Qəbuledici Disk

Yüksək təmizlikli qrafitdən hazırlanmış və MOCVD texnikasından istifadə edərək silisium karbid (SiC) təbəqəsi ilə örtülmüş Semicorex Susceptor Disc əla istilik xüsusiyyətləri ilə əlamətdar kimyəvi dayanıqlığı birləşdirir. Silikon karbid örtüyü çətin mühitlərdə Susseptor Diskinin bütövlüyünü qorumaq üçün çox vacib olan yüksək temperaturlara və korroziyaya qarşı əla müqaviməti təmin edir.

Bundan əlavə, Susseptor Diskdəki SiC örtüyü onun istilik keçiriciliyini artırır, bu da ardıcıl epitaksial böyümə üçün vacib olan sürətli və bərabər istilik paylanmasına imkan verir. O, istiliyi səmərəli şəkildə udur və yayır, nazik təbəqələrin çökməsi üçün vacib olan sabit, vahid temperatur təmin edir. Bu vahidlik qabaqcıl yarımkeçirici cihazların funksionallığı və performansı üçün əsas olan yüksək keyfiyyətli epitaksial təbəqələrə nail olmaq üçün çox vacibdir.

Susceptor Disc-in dizaynı həmçinin termal genişlənmə problemini həll edir. Onun minimal istilik genişlənmə əmsalı epitaksial təbəqələrlə güclü bir əlaqəni təmin edir, istilik dövriyyəsi səbəbindən çatlama riskini azaldır. Bu xüsusiyyət Susceptor Disc-in yüksək ərimə nöqtəsi və əla oksidləşmə müqaviməti ilə birlikdə ekstremal şəraitdə etibarlı işləməyə imkan verir.

Bu qabaqcıl xassələri ilə Susceptor Disc təkcə müasir MOCVD tətbiqlərinin ciddi tələblərinə cavab vermir, həm də onları üstələyir və epitaksial böyümə prosesinin ümumi səmərəliliyini və məhsuldarlığını artıran etibarlı, yüksək performanslı bir həll təqdim edir.