MOCVD Epitaksial böyüməsi üçün RTP daşıyıcısı

MOCVD Epitaksial Böyümə üçün Semicorex RTP Daşıyıcı yarımkeçirici plafli emal tətbiqləri üçün idealdır, o cümlədən epitaksial böyümə və vafli emal emalı. Karbon qrafit suseptorları və kvars tigeləri MOCVD tərəfindən qrafit, keramika və s. səthində işlənir. Məhsullarımız yaxşı qiymət üstünlüyünə malikdir və bir çox Avropa və Amerika bazarlarını əhatə edir. Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

Semicorex, RTA, RTP və ya sərt kimyəvi təmizləmə üçün həqiqətən sabit olan vafliləri dəstəkləmək üçün istifadə edilən MOCVD Epitaksial Böyümə üçün RTP Daşıyıcısını təmin edir. Prosesin əsasını təşkil edən epitaksiya həssasları əvvəlcə çökmə mühitinə məruz qalır, buna görə də yüksək istilik və korroziyaya davamlıdır. SiC örtüklü daşıyıcı həm də yüksək istilik keçiriciliyinə və əla istilik paylama xüsusiyyətlərinə malikdir.
MOCVD Epitaksial Böyümə üçün RTP Daşıyıcımız istilik profilinin bərabərliyini təmin edərək ən yaxşı laminar qaz axını modelinə nail olmaq üçün nəzərdə tutulmuşdur. Bu, vafli çipində yüksək keyfiyyətli epitaksial böyüməni təmin edərək, hər hansı çirklənmənin və ya çirklərin yayılmasının qarşısını almağa kömək edir.
MOCVD Epitaksial Böyümə üçün RTP Daşıyıcımız haqqında daha çox məlumat əldə etmək üçün bu gün bizimlə əlaqə saxlayın.

MOCVD Epitaksial böyüməsi üçün RTP daşıyıcısının parametrləri

CVD-SIC Kaplamasının Əsas Xüsusiyyətləri
SiC-CVD Xüsusiyyətləri
Kristal strukturu	FCC β fazası
Sıxlıq	q/sm³	3.21
Sərtlik	Vickers sərtliyi	2500
Taxıl ölçüsü	μm	2~10
Kimyəvi Saflıq	%	99.99995
İstilik tutumu	J kq-1 K-1	640
Sublimasiya temperaturu	℃	2700
Feleksual Gücü	MPa (RT 4 bal)	415
Gəncin Modulu	Gpa (4pt əyilmə, 1300℃)	430
Termal Genişlənmə (C.T.E)	10-6K-1	4.5
İstilik keçiriciliyi	(Vt/mK)	300

MOCVD epitaksial böyüməsi üçün RTP daşıyıcısının xüsusiyyətləri

Yüksək təmizlik SiC örtüklü qrafit
Üstün istilik müqaviməti və istilik vahidliyi
Hamar bir səth üçün incə SiC kristalla örtülmüşdür
Kimyəvi təmizləməyə qarşı yüksək davamlılıq
Material çatlar və delaminasiyaların baş verməməsi üçün nəzərdə tutulmuşdur.