SiC örtüyü kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) prosesi vasitəsilə həssas təbəqənin üzərində nazik bir təbəqədir. Silikon karbid materialı silisiumla müqayisədə bir sıra üstünlüklər təmin edir, o cümlədən 10x parçalanma elektrik sahəsinin gücü, 3x zolaq boşluğu, bu da materialı yüksək temperatur və kimyəvi müqavimət, əla aşınma müqaviməti, eləcə də istilik keçiriciliyi ilə təmin edir.
Semicorex fərdiləşdirilmiş xidmət təqdim edir, daha uzun müddət davam edən komponentlərlə yeniliklər etməyə kömək edir, dövriyyə müddətlərini azaldır və məhsuldarlığı artırır.
SiC örtüyü bir sıra unikal üstünlüklərə malikdir
Yüksək Temperatur Müqaviməti: CVD SiC ilə örtülmüş sensor əhəmiyyətli termal deqradasiyaya məruz qalmadan 1600°C-ə qədər yüksək temperaturlara davam edə bilər.
Kimyəvi Müqavimət: Silikon karbid örtüyü turşular, qələvilər və üzvi həlledicilər də daxil olmaqla geniş çeşiddə kimyəvi maddələrə əla müqavimət göstərir.
Aşınma Müqaviməti: SiC örtüyü materialı əla aşınma müqaviməti ilə təmin edir və onu yüksək aşınma və yıpranma ilə əlaqəli tətbiqlər üçün uyğun edir.
İstilik keçiriciliyi: CVD SiC örtüyü materialı yüksək istilik keçiriciliyi ilə təmin edir, bu da onu səmərəli istilik ötürülməsi tələb edən yüksək temperatur tətbiqlərində istifadəyə uyğun edir.
Yüksək Güc və Sərtlik: Silikon karbidlə örtülmüş həssaslıq materialı yüksək möhkəmlik və sərtliklə təmin edərək onu yüksək mexaniki qüvvə tələb edən tətbiqlər üçün uyğun edir.
SiC örtüyü müxtəlif tətbiqlərdə istifadə olunur
LED İstehsalı: CVD SiC örtüklü susseptor yüksək istilik keçiriciliyinə və kimyəvi müqavimətinə görə mavi və yaşıl LED, UV LED və dərin UV LED də daxil olmaqla müxtəlif LED növlərinin işlənmiş istehsalında istifadə olunur.
Mobil rabitə: CVD SiC ilə örtülmüş sensor GaN-on-SiC epitaksial prosesini tamamlamaq üçün HEMT-nin mühüm hissəsidir.
Yarımkeçiricilərin emalı: CVD SiC örtüklü susseptor yarımkeçirici sənayesində müxtəlif tətbiqlər, o cümlədən vafli emalı və epitaksial böyümə üçün istifadə olunur.
SiC örtüklü qrafit komponentləri
Silicon Carbide Coating (SiC) qrafitindən hazırlanmış örtük yüksək sıxlıqlı qrafitin xüsusi növlərinə CVD üsulu ilə tətbiq edilir, beləliklə o, yüksək temperaturlu sobada inert atmosferdə 3000 °C, vakuumda 2200 °C-də işləyə bilər. .
Materialın xüsusi xassələri və aşağı kütləsi sürətli isitmə sürətinə, temperaturun vahid paylanmasına və nəzarətdə yüksək dəqiqliyə imkan verir.
Semicorex SiC Coating material məlumatları
Tipik xüsusiyyətlər |
Vahidlər |
Dəyərlər |
Struktur |
|
FCC β fazası |
Orientasiya |
Kəsr (%) |
111 üstünlük verilir |
Kütləvi sıxlıq |
q/sm³ |
3.21 |
Sərtlik |
Vickers sərtliyi |
2500 |
İstilik tutumu |
J kq-1 K-1 |
640 |
Termal genişlənmə 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Gəncin Modulu |
Gpa (4pt əyilmə, 1300℃) |
430 |
Taxıl ölçüsü |
μm |
2~10 |
Sublimasiya temperaturu |
℃ |
2700 |
Feleksual Gücü |
MPa (RT 4 bal) |
415 |
İstilik keçiriciliyi |
(Vt/mK) |
300 |
Nəticə CVD SiC ilə örtülmüş susseptor, zəbtedici və silisium karbidin xüsusiyyətlərini birləşdirən kompozit materialdır. Bu material yüksək temperatur və kimyəvi müqavimət, əla aşınma müqaviməti, yüksək istilik keçiriciliyi, yüksək möhkəmlik və sərtlik də daxil olmaqla unikal xüsusiyyətlərə malikdir. Bu xüsusiyyətlər onu müxtəlif yüksək temperatur tətbiqləri, o cümlədən yarımkeçiricilərin emalı, kimyəvi emal, istilik müalicəsi, günəş batareyası istehsalı və LED istehsalı üçün cəlbedici bir material halına gətirir.
Ən müasir CVD SiC Pancake Susceptorumuzla yarımkeçirici istehsalında dəqiqliyin zirvəsini üzə çıxarın. Yarımkeçirici avadanlığı üçün mütəxəssis olaraq hazırlanmış bu disk formalı komponent yüksək temperaturlu epitaksial çökmə prosesləri zamanı nazik yarımkeçirici plastinaların dəstəklənməsi üçün mühüm element kimi xidmət edir. Semicorex rəqabətədavamlı qiymətlərlə keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə sadiqdir, biz sizin Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Daha çox oxuSorğu göndərinEpitaksial üçün əsaslı yarımkeçirici SiC Komponentlərimizlə yarımkeçirici avadanlıqlarınızın imkanlarını və səmərəliliyini artırın. Bu yarı silindrik komponentlər epitaksial reaktorların qəbul bölməsi üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdır və yarımkeçiricilərin istehsal proseslərinin optimallaşdırılmasında mühüm rol oynayır. Semicorex rəqabətədavamlı qiymətlərlə keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə sadiqdir, biz sizin Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Daha çox oxuSorğu göndərinYarımkeçirici cihazlarınızın funksionallığını və səmərəliliyini ən müasir Yarım Hissələr Baraban Məhsulları Epitaksial Hissəmizlə artırın. Xüsusilə LPE reaktorunun qəbuledici komponentləri üçün nəzərdə tutulmuş bu yarı silindrik aksesuar yarımkeçirici proseslərinizin optimallaşdırılmasında mühüm rol oynayır.
Semicorex rəqabətədavamlı qiymətlərlə keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə sadiqdir, biz sizin Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Epitaksial Prosesdə Aşağı Bölmələr üçün Semicorex İkinci Yarım Hissələri, yarımkeçirici cihazlarınızın performansında inqilab etmək üçün nəzərdə tutulmuş diqqətlə hazırlanmış komponentlər. Xüsusilə LPE reaktorlarının suqəbuledici sistemi üçün hazırlanmış bu yarı silindrik fitinqlər epitaksial böyümə prosesinin gücləndirilməsində mühüm rol oynayır. Semicorex rəqabətədavamlı qiymətlərlə keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə sadiqdir, biz sizin Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Daha çox oxuSorğu göndərinSiC Epitaksial Avadanlıq üçün Semicorex Yarım Hissələri, yarımkeçiricilərin emalında inkişaf etmiş yüksək təmizlikli materialdır. Bu mühüm avadanlıq SiC vafli epitaksiya prosesində mühüm rol oynayır. Semicorex rəqabətədavamlı qiymətlərlə keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə sadiqdir, biz sizin Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex CVD SiC Örtülü Qrafit Susceptor, yarımkeçirici vaflilərin işlənməsi və emalında istifadə olunan xüsusi alətdir. Suseptor, temperatur və material xüsusiyyətlərinə dəqiq nəzarət etməklə, nazik təbəqələrin, epitaksial təbəqələrin və substratlarda digər örtüklərin böyüməsini asanlaşdırmaqda həlledici rol oynayır. Semicorex rəqabətədavamlı qiymətlərlə keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə sadiqdir, biz sizin Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Daha çox oxuSorğu göndərin