ICP Etch üçün SiC Suseptor

ICP Etch üçün Semicorex SiC Susceptor yüksək keyfiyyət və ardıcıllıq standartlarının saxlanmasına diqqət yetirməklə istehsal edilmişdir. Bu qoruyucuları yaratmaq üçün istifadə edilən möhkəm istehsal prosesləri hər bir partiyanın ciddi performans meyarlarına cavab verməsini təmin edərək, yarımkeçirici aşındırmada etibarlı və ardıcıl nəticələr verir. Bundan əlavə, Semicorex sürətli çatdırılma cədvəlləri təklif etmək üçün təchiz edilmişdir ki, bu da yarımkeçiricilər sənayesinin sürətli dönüş tələbləri ilə ayaqlaşmaq, keyfiyyətdən ödün vermədən istehsal qrafiklərinin yerinə yetirilməsini təmin etmək üçün çox vacibdir. Keyfiyyəti qənaətcilliklə birləşdirən ICP Etch üçün SiC Susceptor.**

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

ICP Etch üçün Semicorex SiC Susceptor mükəmməl istilik keçiriciliyi ilə tanınır və bu, səthdə sürətli və vahid istilik paylanmasına imkan verir. Bu xüsusiyyət aşındırma prosesi zamanı sabit temperaturun saxlanması, naxışın ötürülməsində yüksək dəqiqliyi təmin etmək üçün çox vacibdir. Bundan əlavə, SiC-nin aşağı istilik genişlənmə əmsalı müxtəlif temperaturlar altında ölçü dəyişikliklərini minimuma endirir, beləliklə struktur bütövlüyünü qoruyur və materialın dəqiq və vahid çıxarılmasını dəstəkləyir.

ICP Etch üçün SiC Susceptor-un diqqətəlayiq xüsusiyyətlərindən biri onların plazma təsirinə qarşı müqavimətidir. Bu müqavimət, susseptorun bu aşındırma proseslərində ümumi olan plazma bombardmanının sərt şərtləri altında deqradasiyası və ya aşınmamasını təmin edir. Bu davamlılıq aşındırma prosesinin etibarlılığını artırır və minimal qüsurlarla təmiz, yaxşı müəyyən edilmiş aşındırma nümunələrinin istehsalına kömək edir.

ICP Etch üçün SiC Susceptor güclü turşular və qələvilər tərəfindən korroziyaya qarşı davamlıdır, bu, ICP aşındırma mühitlərində istifadə olunan materiallar üçün vacib bir xüsusiyyətdir. Bu kimyəvi müqavimət, aqressiv kimyəvi reagentlərə məruz qaldıqda belə, ICP Etch üçün SiC Susceptor-un zamanla fiziki və mexaniki xassələrini saxlamasını təmin edir. Bu davamlılıq tez-tez dəyişdirmə və texniki xidmət ehtiyacını azaldır, beləliklə, əməliyyat xərclərini azaldır və yarımkeçirici istehsal müəssisələrinin işləmə müddətini artırır.

ICP Etch üçün Semicorex SiC Susceptor, müxtəlif vafli ölçüləri və emal spesifikasiyalarına uyğunlaşmaq üçün tez-tez fərdiləşdirməyə ehtiyac duyulan yarımkeçirici istehsalında kritik amil olan xüsusi ölçülü tələblərə cavab vermək üçün dəqiq şəkildə hazırlana bilər. Bu uyğunlaşma mövcud avadanlıq və texnoloji xətlərlə daha yaxşı inteqrasiya etməyə, aşındırma prosesinin ümumi səmərəliliyini və effektivliyini optimallaşdırmağa imkan verir.