SiC örtüklü epitaksiya diski

Semicorex SiC örtüklü epitaxy diski yarımkeçirici sənayesində bir sıra misilsiz üstünlüklərə malikdir və bunları aşağıdakı kimi daha da inkişaf etdirmək olar:

Aşağı İstilik Genişlənmə Əmsalı: SiC ilə örtülmüş epitaksiya diski ölçü sabitliyinin vacib olduğu yarımkeçiricilərin emalında vacib olan nəzərəçarpacaq dərəcədə aşağı istilik genişlənmə əmsalı ilə öyünür. Bu atribut, yüksək temperatur prosesləri zamanı yarımkeçirici strukturun bütövlüyünü qoruyaraq, temperatur dəyişikliyi altında SiC ilə örtülmüş epitaksiya diskinin minimal genişlənmə və ya büzülməyə məruz qalmasını təmin edir.

Yüksək Temperatur Oksidləşmə Müqaviməti: Əla oksidləşmə müqaviməti ilə hazırlanmış bu SiC örtüklü epitaksi diski yüksək temperaturlarda struktur bütövlüyünü saxlayır və onu istilik sabitliyinin vacib olduğu yüksək temperaturlu yarımkeçirici proseslərdə tətbiqlər üçün ideal komponent edir.

Sıx və İncə Məsaməli Səth: SiC ilə örtülmüş Epitaxy Disc-in səthi sıxlığı və incə məsaməliliyi ilə xarakterizə olunur ki, bu da müxtəlif örtüklərin yapışması üçün optimal səth teksturasını təmin edir və zərif səthə zərər vermədən yarımkeçirici vafli emal zamanı materialın effektiv çıxarılmasını təmin edir.

Yüksək Sərtlik: Kaplama qrafit diskə yüksək səviyyədə sərtlik verir ki, bu da cızılmaya və aşınmaya davamlıdır, beləliklə, SiC örtüklü epitaksi diskinin xidmət müddətini uzadır və yarımkeçirici istehsal mühitlərində dəyişdirmə tezliyini azaldır.

Turşulara, əsaslara, duzlara və üzvi reagentlərə qarşı müqavimət: SiC ilə örtülmüş Epitaxy Disc-in CVD SiC örtüyü turşular, əsaslar, duzlar və üzvi reagentlər də daxil olmaqla geniş çeşiddə aşındırıcı maddələrə əla müqavimət göstərir və bu onu mühitlərdə istifadə üçün uyğun edir. kimyəvi məruz qalma narahatlıq doğurur və bununla da avadanlığın etibarlılığını və uzunömürlülüyünü artırır.

Beta-SiC Səthi Qatı: SiC ilə örtülmüş epitaksi diskinin SIC (Silikon Karbid) səth təbəqəsi üz mərkəzli kubik (FCC) kristal quruluşa malik olan beta-SiC-dən ibarətdir. Bu kristal struktur örtükün müstəsna mexaniki və istilik xüsusiyyətlərinə töhfə verir, diskə üstün güc və istilik keçiriciliyi təklif edir, bu da yarımkeçirici emal avadanlığı üçün vacibdir.