Semikorex Silikon Carbide Carbide Chucks, fotolitoqrafiya avadanlığı üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdır və yüksək dəqiqlik, ultra yüngül çəki, yüksək sərtlik, istilik genişlənməsinin aşağı əmsalı və əla aşınma müqaviməti kimi birdən çox üstünlük təşkil edir.
Semikorexsilikon karbid çaklarıişləyən funksional adsorbsiya cihazlarıdırsilikon karbid(Sic) keramika materialı. Əsasən yarımkeçiricilər, fotovoltaika, dəqiq istehsal və digər ssenarilərdə yüksək temperatur müqaviməti, taxma müqaviməti, kimyəvi korroziyaya qarşı müqavimət və materialların təmizliyi üçün çox yüksək tələblər olan digər ssenarilərdə istifadə olunur.
SIC keramika materialı yüksək temperatur müqavimətinə malikdir və yüksək temperatur mühitində struktur sabitliyini qoruyur. Əla istilik keçiriciliyi, iş parçasının həddindən artıq istiləşməsinin qarşısını alan, adsorbsiya zamanı yaranan istiliyi tez bir zamanda yaymaq imkanı verir. Materialın müstəsna sərtliyi, kobud və ya sərt iş parçalarını qarışdırmaq üçün uyğundur. Bundan əlavə, SIC Seramik materialının kimyəvi inertliyi güclü turşular, güclü qələvilər və üzvi həlledicilər tərəfindən korroziyaya davamlıdır. Bu materialın aşağı çirkləndi yağış performansı makiyaj çirklənməsindən qaçınır və yarımkeçirici sənayesinin ultra təmiz tələblərinə cavab verən avadanlıqların normal iş vaxtını uzadır.
Semikorex Silikon Carbide Chucks-in tipik xüsusiyyətləri
1.Hər dəqiqliyi: düzlük 0.3-0.5μm-dir.
2.Mirror cilalama
3.Hərəm yüngül çəki
4.Hərti sərtlik
3.Hərəm yüngül çəki
6.Elent geyimi müqaviməti
Silikon karbidinin tətbiqi ssenariləri
Yarımkeçirici İstehsalat
Daferin köçürülməsi və işlənməsi: Photolitoqrafiya və etching kimi proseslərdə boşalma səhvlərinin qarşısını almaq üçün vakuum mühitində sabit bir şəkildə adsorbed edilməlidir.
Plazma korroziya müqaviməti: Yarımkeçirici etching prosesində əla korroziya müqaviməti məhsulun xidmət həyatını genişləndirə bilər.
Fotovoltaik hüceyrə istehsalı
Silikon Wafer Kəsmə: Adsorps silikon vibrasiyaya qarşı durmaq və silikon gofretinin parçalanma sürətini azaltmaq üçün silikon gofreti.
Optika və elektronika istehsalı
Sapphire Substrate Emal: LED çip istehsalında istifadə olunan sapfir substratları vakuum adsorbsiyasını tələb edir. Adsorbsiya qüvvəsi substratın çəkisini dəf etməli və məhsul səthini cızmaqdan çəkinin.
Silikon Karbide Chucks, yüksək səviyyəli performansları səbəbiylə yüksək səviyyəli istehsal sahəsində əsas istehlak materiallarına çevrildi, yarımkeçiricilər, fotovoltaika və residive istehsal edən sahələrdə texnoloji tərəqqi təşviq edir.