Al2o3 vakuum chucks

Semikorex Al₂o₃₃ vakuum chucks, yarımkeçirici sənayesində vafli rəftar, fiksasiya və emal tətbiqləri üçün hazırlanmış dəqiq mikroporlu keramika komponentidir. Qara alüminidan 35% -40% -dən çox olan bir məsaməsizlik ilə edilən, bu, vakuum adsorbsiya prosesləri üçün son dərəcə sabit, təmiz və etibarlı bir mühitdir. Chuck, substratın kritik proses addımları zamanı istifadəçinin kövrək vafleri üçün ardıcıl vafi üçün ardıcıl emiş işləmədən istifadə edərək funksional bir səthin keramik işlənməsini özündə birləşdirir.

QaraAlumina (Aloo₃)Açıq Metallar və polimerlərlə müqayisədə mexaniki güc, sərtlik və kimyəvi müqavimətsizlik bir balansına malikdir. Mikroporlu quruluş, vakuum Chuck'ın səthi boyunca ardıcıl vakuum paylamasını təmin etmək üçün idarə olunan məsaməsizlik üçün optimallaşdırılmışdır. Bir vake chuck-in tam səth sahəsi boyunca ardıcıl vakuum paylanması lokallaşdırılmış stress konsentrasiyasını minimuma endirərək, vafli təhrif, kənar çip və qırılma riskini məhdudlaşdırır. Qonqar uydurma kimi, diametrdə miqyaslı olaraq miqyaslı və qurğular daha kövrək, proses məhsuldarlığı və yaxşılaşdırılmış vafli idarəetmə etibarlılığı kritik tələblərə çevrilir.

Nəzarət olunan məsaməsizlik 35-40% bu vakuum çucunun əsas xarakteristikasını təmsil edir. Optimallaşdırılmış məsam şəbəkə, məsamə bölgəsindən hava boşaldılması zamanı turbulenti minimuma endirə bilər və mexaniki güc və davamlılığı qoruyarkən tutulan qüvvəni qoruya bilər. Bunun əksinə olaraq, mexaniki sıxaclar lokallaşdırılmış stres nöqtələrə səbəb olan və fərdi gofretin mexaniki xüsusiyyətlərinə qarşı işləyən plitələrdən istifadə edir. Mikroporlu alüminium səthi, buna görə mexaniki yanaşmalar zamanı boşalma və uyğunsuz olan boşalma içərisində üstündür. Bu, litoqrafiya, etching, çökmə, çökmə, çökmə, çökmə və metrologiya daxil olmaqla, vafli düzlük və hamar bir şəkildə fayda verən yüksək texnoloji yarımkeçirici proseslər üçün mükəmməl bir namizəddir.

Termal baxımından, Qara alüminium materialı, yüksək temperatur zamanı ölçülü sabitliyi qorumaq üçün əla bu qabiliyyətə malikdir. İstilik genişləndirməsinin aşağı əmsalı, vakuum çucu, istilik və soyutma dövrlərində hətta qeyri-adi temperaturun sürətlə inkişaf mühitində tez-tez meydana gələn sürətlə temperaturun dəyişməsi səbəbindən tənqidi bir cəhətdir. Bu keramikin sərtliyi və aşınma müqaviməti, həmçinin avadanlıq operatorları üçün texniki xidmət tezliyini azaltmaq və mülkiyyətin ümumi dəyərini azaltmaqla, Chuckun uzunömürlülüyünü artırır.

Alüminion keramikalarının kimyəvi inertliyi başqa bir əhəmiyyətli bir əmlakdır. Yarımkeçirici Fabs-də avadanlıqların komponentləri təcavüzkar kimyəvi maddələrə, təmizləyici maddələrə və ya plazma mühitinə dözmək lazımdır. Qara alüminium, korroziyaya, oksidləşmə və / və ya səth çirklənməsinə qarşı durmaq üçün əla xüsusiyyətlərə malikdir və bununla da həyəcanlandıran əməliyyat dövrü dövrləri zamanı quruluş və struktur / phasic sabitliyini saxlayır. Bu əmlak da yerində olan bu əmlak, o, bu cihazların necə çıxdıqlarını və təmizlik protokollarına çevrilən dövri qoruyan çirklənməyə məruz qalmadığı deməkdir.

Takuum Chucks-in əla funksional performans sərgilədiyi, səthin sonu da möhkəm idarə olunur. Finiş yüksək dəqiqlikli emal və cilalama proseslərindən istifadə etməklə yaradılmışdır ki, incə dolğunluq və ya hamarlığı olmayan bir cızıq və ya səth ziyanı olmadan saxlanıla bilsin. Materialın yüksək mühərrikli məsaməsi, incə, kövrək substratlara hər hansı bir ziyandan qaçaraq, vober üzərində kifayət qədər güc tətbiq etməyə imkan verən emiş və səth qoruma arasında uyğun bir tarazlığı verir.

Əməliyyat nöqteyi-nəzərindən Aloo₃ vakuum çakları müasir yarımkeçirici istehsalda kritik komponentdir. Bu avtomatlaşdırmanı asanlaşdırır, gofretlərin götürülməsinə, hizalanan və işlənmiş, proses tələblərini etibarlı şəkildə təmin etmək imkanı verir. Alümininin qara rəngi də optik yoxlamalar və ölçmə prosesləri zamanı işıq əksini azaltmaqla pragmatik üstünlükləri də artırır və praqmatik üstünlüklər verir, xüsusən də yüksək dəqiqlikli optik avadanlıqların istifadə edildiyi yerlərdə.

Qabaqcıl keramika texnologiyasını yaxşı düşünülmüş bir dizaynla birləşdirərək, Aloo₃ vakuum chucks, yarımkeçirici istehsalçıların vafli işləmə problemləri üçün uzunmüddətli, yüksək performanslı bir həll yolu ilə nəticələndi. Aloo₃ vakuum chucks azaldılmış vaffer itkisi ilə məhsuldarlığı yaxşılaşdırır, davamlılığı səbəbindən azalır və ardıcıl vakuum tutma qüvvəsi təmin edərək proses sabitliyini artırır.

Semikorex Al₂o₃₃ vakuum chucks microlioore qara rəngdən hazırlanmışdıraluminayalnız bir armaturdan daha çoxdur; Həssas yarımkeçirici istehsalın kritik bir təminatçısıdır. Optimallaşdırılmış məsaməsi, müstəsna maddi xüsusiyyətləri və möhkəm performans, ən tələbkar uydurma prosesləri arasında etibarlı vaffer işləməsini təmin edir. Daha yüksək məhsul əldə etmək, təkmilləşdirilmiş proses səmərəliliyi və üstün avadanlıqların performansını əldə etmək istəyən istehsalçılar üçün, Qara alüminium vakuum Chuck əvəzolunmaz bir seçimdir.