Semikorex gözenekli alüminion chucks mikroporlu qara alüminion vakuum armaturu, 35-40% gözeneklilik, vahid emiş və seminkonductor istehsalında təhlükəsiz vaffer işləmə təmin etmək üçün hazırlanmışdır. Semikorex seçmək etibarlı keramika mühəndisliyi, üstün maddi keyfiyyət və məhsuldarlığı qoruyan və proses sabitliyini qoruyan ardıcıl performans deməkdir. *
Semikorex məsaməli alumina chucks ən incə gofret üçün qurulmuş məqsəddir. Onların məsaməli dizaynı, azaldılmış lokallaşdırılmış stressi təmin edən və kənar çipləmə və qırılmanın qarşısını alan QİÇS-lər arasında ardıcıl vakuum paylamasının zəmanətini təmin edir. Mexanik sıxma (bərk və ya başqa şəkildə), mikroporlu quruluşun aşınmasının qarşısını alan və incə bir tutma təmin etdikcə, vafleyici mühasirəni məhdudlaşdırarkən, inferativ mikrokredit-in hətta incə gofreti saxlayan mikroporlu şəbəkə kimi effektiv deyil. Bütün Chuck səthi boyunca vahid adsorbsiya ehtiyacı, avtomatlaşdırılmış işləmə zamanı və yüksək dəqiqlikli emal addımları edərkən daha az stresə dözə biləcək daha böyük və incə olan gofretlər üçün vacibdir.
35-40% gözenekenlik üçün optimallaşdırıldı, Chuck, proses qüvvələrinə qarşı vaflonun yerində vafleri tutmaq üçün kifayət qədər mexaniki güc təmin edərkən havanı boşaltmağa xidmət edən birləşdirici məsamələr şəbəkəsini inkişaf etdirir. Bu, vakuum holdinq qüvvəsi, mürəkkəb bir proses ardıcıllığı edərkən, sürətli ardıcıllıqla, vakuum tutma qüvvəsi sabit qalma halında sabit qalır. Microlioji bir şəbəkə daxilində adsorbsiya, sadəcə vakuum sistemi daxilində təzyiqdə fərqlər yaratmaqdan daha çox sabitlik təmin edir.
Qara alüminium (Al₂o₃), özü son materialdır, çünki çətin, aşınmaya davamlı və kimyəvi cəhətdən inertdir. Bu, hər hansı bir təqdir olunan səthi alçaltmayacaq və boşalma dövrlərinin təkrar dövrləri ilə təsirlənmir (yerləşdirmə / vakuum adsorbsiya / soyutma). QaraaluminaÖlçü cəhətdən sabitdir, buna görə də prosesdə (istilik və soyutma) və ya ətrafda təbii olaraq baş verən temperatur dəyişikliklərinə baxmayaraq dəyişməyəcəkdir.
Kimyəvi müqavimət Qara alüminiumun başqa bir əsas üstünlüyüdir. Chuck, struktur bütövlüyünü pozmadan aqressiv təmizlik, plazma və etching mühitində işləyə bilər. Onun inisiti, vaffer səthinin çirklənməsinin qarşısını alır, yüksək proses təmizliyini və təmizlik standartlarına riayət olunmasının qarşısını alır.
Mikroporay quruluş, həmçinin incə və kövrək boşluqlarda stres konsentrasiyasını aradan qaldıran dəstəkləyici bir səth təklif edir. Dəqiq səth düzlüyü və hamar bir səthin sonu olan tandemdə, məsaməli alüminium, chucks, əl-ələ verilən vilayətin bütövlüyünə güzəştə gedə biləcək mikro-çatların və cızıqların meydana gəlməsini minimuma endirəcəkdir.
Alumina keramikaMükəmməl sərtliyi, yüksək mexaniki gücü, genişlənmənin aşağı istilik əmsalı və əla istilik sabitliyi, dəqiq yarımkeçirici tətbiqi üçün praktik bir material hazırlayır. Ayrıca, onun kimyəvi inertsiği, turşular, alkalis və plazma ilə, taxta müqavimət xüsusiyyətləri davamlılığı təmin edərkən, bu üstünlüklər alumina mikroporlu vakuum chucks üçün seçim materialı halına gətirir və həm etibarlılığı təmin edir.
Sonda, məsaməli alüminiumiya chucks forma və sağ qalan vafli işləmə üçün hazırlanmışdır. Onun mikroporlu qara alüminion quruluşu mexaniki stressi və gofret zərərin azaldılmasını minimuma endirərkən hətta vakuum adsorbsiya (vahidlik) təklif edir. Bir Chuck, görkəmli istilik, mexaniki və kimyəvi xüsusiyyətlərlə birlikdə əhəmiyyətli və optimal məsələn, sərt uydurma şəraitdə əməliyyatın təhlükəsizliyini, dəyərini və etibarlılığını optimallaşdırmağa kömək edir. Gözətişli alüminianda çakların istehsalçıları təklif edə biləcəyi sağlam, vahid və təhlükəsiz işləmə əla birləşməsi sadəcə nadir və bənzərsizdir.