Semicorex-in ICP Aşınma Prosesi üçün SiC Plitəsi nazik təbəqənin çökməsi və vafli ilə işləmə zamanı yüksək temperatur və sərt kimyəvi emal tələbləri üçün mükəmməl həlldir. Məhsulumuz üstün istilik müqaviməti və hətta istilik vahidliyi ilə öyünür, epi təbəqənin davamlı qalınlığını və müqavimətini təmin edir. Təmiz və hamar səthlə yüksək təmizlikli SiC kristal örtüyümüz təmiz vaflilər üçün optimal işləməyi təmin edir.
ICP Aşındırma Prosesi üçün Semicorex-in SiC Plate ilə ən yüksək keyfiyyətli epitaksiya və MOCVD proseslərinə nail olun. Məhsulumuz xüsusi olaraq bu proseslər üçün hazırlanmışdır və üstün istilik və korroziyaya davamlılıq təklif edir. Bizim incə SiC kristal örtükümüz vaflilərin optimal şəkildə idarə olunmasına imkan verən təmiz və hamar səth təmin edir.
ICP Aşınma Prosesi üçün SiC Platemiz istilik profilinin bərabərliyini təmin edərək ən yaxşı laminar qaz axını modelinə nail olmaq üçün nəzərdə tutulmuşdur. Bu, vafli çipində yüksək keyfiyyətli epitaksial böyüməni təmin edərək, hər hansı çirklənmənin və ya çirklərin yayılmasının qarşısını almağa kömək edir.
ICP Aşınma Prosesi üçün SiC Plate haqqında daha çox öyrənmək üçün bu gün bizimlə əlaqə saxlayın.
ICP Aşınma Prosesi üçün SiC Plitənin parametrləri
CVD-SIC Kaplamasının Əsas Xüsusiyyətləri |
||
SiC-CVD Xüsusiyyətləri |
||
Kristal strukturu |
FCC β phase |
|
Sıxlıq |
q/sm³ |
3.21 |
Sərtlik |
Vickers sərtliyi |
2500 |
Taxıl ölçüsü |
μm |
2~10 |
Kimyəvi Saflıq |
% |
99.99995 |
İstilik tutumu |
J kq-1 K-1 |
640 |
Sublimasiya temperaturu |
℃ |
2700 |
Feleksual Gücü |
MPa (RT 4 bal) |
415 |
Gəncin Modulu |
Gpa (4pt əyilmə, 1300℃) |
430 |
Termal Genişlənmə (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
İstilik keçiriciliyi |
(Vt/mK) |
300 |
ICP Aşınma Prosesi üçün SiC Plitənin xüsusiyyətləri
- Soyulmaqdan çəkinin və bütün səthin örtülməsini təmin edin
Yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti: 1600°C-ə qədər yüksək temperaturda sabitdir
Yüksək təmizlik: yüksək temperaturda xlorlama şəraitində CVD kimyəvi buxar çökdürülməsi ilə hazırlanmışdır.
Korroziyaya davamlılıq: yüksək sərtlik, sıx səth və incə hissəciklər.
Korroziyaya davamlılıq: turşu, qələvi, duz və üzvi reagentlər.
- Ən yaxşı laminar qaz axını modelinə nail olun
- Termal profilin bərabərliyinə zəmanət verir
- Hər hansı çirklənmənin və ya çirklərin yayılmasının qarşısını alın