Semicorex-in ICP Silikon Karbonla örtülmüş qrafiti vaflislə işləmə və nazik təbəqənin çökmə prosesləri üçün ideal seçimdir. Məhsulumuz üstün istilik və korroziya müqavimətinə, hətta istilik vahidliyinə və optimal laminar qaz axını nümunələrinə malikdir.
Epitaksial böyümə emalında istifadə olunan vafli daşıyıcıları yüksək temperatura və sərt kimyəvi təmizləməyə dözməlidir. Semicorex ICP Silikon Karbon Kaplamalı Qrafit qəbulediciləri bu tələbkar epitaksiya avadanlığı tətbiqləri üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdır. Məhsulumuz yüksək temperaturlara və sərt kimyəvi təmizləməyə davamlı olaraq uzunömürlülük və optimal nəticələr təmin etmək üçün hazırlanmışdır.
Bizim ICP Silikon Karbon Kaplamalı Qrafitimiz istilik profilinin bərabərliyini təmin edərək ən yaxşı laminar qaz axını modelinə nail olmaq üçün nəzərdə tutulmuşdur. Bu, vafli çipində yüksək keyfiyyətli epitaksial böyüməni təmin edərək, hər hansı çirklənmənin və ya çirklərin yayılmasının qarşısını almağa kömək edir.
ICP Silikon Karbon Kaplamalı Qrafitimiz haqqında daha çox məlumat əldə etmək üçün bu gün bizimlə əlaqə saxlayın.
ICP Silicon Carbon Coated Graphite parametrləri
CVD-SIC Kaplamasının Əsas Xüsusiyyətləri |
||
SiC-CVD Xüsusiyyətləri |
||
Kristal strukturu |
FCC β mərhələsi |
|
Sıxlıq |
q/sm³ |
3.21 |
Sərtlik |
Vickers sərtliyi |
2500 |
Taxıl ölçüsü |
μm |
2~10 |
Kimyəvi Saflıq |
% |
99.99995 |
İstilik tutumu |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimasiya temperaturu |
℃ |
2700 |
Feleksual Gücü |
MPa (RT 4 bal) |
415 |
Young's Modulu |
Gpa (4pt əyilmə, 1300â) |
430 |
Termal Genişlənmə (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
İstilikkeçirmə |
(Vt/mK) |
300 |
ICP Silicon Carbon Coated Graphite xüsusiyyətləri
- Soyulmadan qaçın və bütün səthin örtülməsini təmin edin
Yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti: 1600°C-ə qədər yüksək temperaturda sabitdir
Yüksək təmizlik: yüksək temperaturda xlorlama şəraitində CVD kimyəvi buxar çökdürülməsi ilə hazırlanmışdır.
Korroziyaya davamlılıq: yüksək sərtlik, sıx səth və incə hissəciklər.
Korroziyaya davamlılıq: turşu, qələvi, duz və üzvi reagentlər.
- Ən yaxşı laminar qaz axını modelinə nail olun
- Termal profilin bərabərliyinə zəmanət verir
- Hər hansı çirklənmənin və ya çirklərin yayılmasının qarşısını alın