SiC Çox Cib Qəbuledicisi

Semicorex SiC Multi Pocket Susceptor-un təməli termal sabitliyi və termal şoka qarşı müqaviməti ilə məşhur olan ultra yüksək təmizlikli izotropik qrafitdir. Bu əsas material ciddi şəkildə idarə olunan CVD-depozit edilmiş SiC örtüyünün tətbiqi ilə daha da gücləndirilir. Bu birləşmə xassələrin unikal sinerjisini təmin edir:

Analoqsuz Kimyəvi Müqavimət:SiC səth təbəqəsi epitaksial böyümə proseslərinə xas olan yüksək temperaturda belə oksidləşməyə, korroziyaya və kimyəvi hücuma müstəsna müqavimət göstərir. Bu hərəkətsizlik SiC Multi Pocket Susceptor-un struktur bütövlüyünü və səth keyfiyyətini qoruyub saxlamasını təmin edir, çirklənmə riskini minimuma endirir və uzun müddət işləmə müddətini təmin edir.

Fövqəladə istilik sabitliyi və vahidlik:İzotropik qrafitin xas sabitliyi, vahid SiC örtüyü ilə birləşərək, həssas səthdə vahid istilik paylanmasına zəmanət verir. Bu vahidlik epitaksiya zamanı vafli üzərində homojen temperatur profillərinə nail olmaqda böyük əhəmiyyət kəsb edir və birbaşa üstün kristal artımına və film vahidliyinə çevrilir.

Təkmilləşdirilmiş Proses Səmərəliliyi:SiC Multi Pocket Susceptor-un möhkəmliyi və uzunömürlülüyü prosesin səmərəliliyini artırmağa kömək edir. Təmizləmə və ya dəyişdirmə üçün azaldılmış fasilələr daha yüksək məhsuldarlığa və daha aşağı ümumi sahiblik dəyərinə, tələb olunan yarımkeçirici istehsal mühitlərində mühüm amillərə çevrilir.

SiC Multi Pocket Susceptor-un üstün xüsusiyyətləri birbaşa epitaksial vafli istehsalında nəzərəçarpacaq üstünlüklərə çevrilir:

Təkmilləşdirilmiş gofret keyfiyyəti:Təkmilləşdirilmiş temperatur vahidliyi və kimyəvi təsirsizlik epitaksial təbəqədə qüsurların azalmasına və kristal keyfiyyətinin yaxşılaşmasına kömək edir. Bu, bilavasitə son yarımkeçirici cihazların təkmilləşdirilmiş performansına və məhsuldarlığına çevrilir.

Artan Cihaz Performansı:Epitaksiya zamanı dopinq profilləri və təbəqə qalınlığı üzərində dəqiq nəzarətə nail olmaq bacarığı cihazın işini optimallaşdırmaq üçün çox vacibdir. SiC Multi Pocket Susceptor tərəfindən təmin edilən sabit və vahid platforma istehsalçılara xüsusi tətbiqlər üçün cihaz xüsusiyyətlərini dəqiq tənzimləməyə imkan verir.

Qabaqcıl Tətbiqlərin Aktivləşdirilməsi:Yarımkeçirici sənayesi daha kiçik cihaz həndəsələrinə və daha mürəkkəb arxitekturaya doğru irəlilədikcə, yüksək performanslı epitaksial vaflilərə tələbat artmaqda davam edir. Semicorex SiC Multi Pocket Susceptor, dəqiq və təkrarlana bilən epitaksial böyümə üçün lazımi platforma təmin etməklə bu irəliləyişləri təmin etməkdə mühüm rol oynayır.