SiC Horizontal Soba Borusu

Semicorex SiC Horizontal Soba Borusu üfüqi diffuziya və termal emal sobalarında istifadə olunan dəqiq keramika texnoloji borudur. Boru yüksək temperatur əməliyyatları zamanı yarımkeçirici vaflilər üçün sabit və idarə olunan reaksiya mühiti yaradır.

Göstərilən məhsul qabaqcıl 3D çap texnologiyasından istifadə edilməklə istehsal edilən inteqrasiya olunmuş bir parça quruluşa malikdir. İstismar zamanı soba borusu reaktiv və qoruyucu qaz atmosferinə məruz qalır, o cümlədən:

* Oksigen (reaksiya qazı)

* Azot (qoruyucu qaz)

* Kiçik miqdarda hidrogen xlorid (HCl)

İşləmə temperaturu təqribən 1250°C-ə çata bilər ki, bu da materialın uzun istehsal dövrlərində əla istilik sabitliyini, kimyəvi müqavimətini və struktur bütövlüyünü saxlamasını tələb edir.

Ənənəvi kvars soba boruları ilə müqayisədə,SiCsoba boruları üstün istilik keçiriciliyi, daha yüksək mexaniki möhkəmlik və istilik şokuna və korroziyalı proses şəraitinə əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırılmış müqavimət təmin edir.

SiC Horizontal Soba Borularının Əsas Xüsusiyyətləri

Qabaqcıl 3D Çap İnteqrasiya edilmiş Struktur

Soba borusu qabaqcıl 3D çap bir parça formalaşdırma texnologiyasını qəbul edir və komponentə əla ölçülü ardıcıllıqla mürəkkəb həndəsələrə nail olmağa imkan verir.

İnteqrasiya edilmiş quruluş bir sıra üstünlüklərə malikdir:

* Azaldılmış montaj interfeysləri

* Təkmilləşdirilmiş struktur gücü

* Təkmilləşdirilmiş sızdırmazlıq performansı

* Daha yaxşı istilik vahidliyi

* Termal velosiped sürmə zamanı daha yüksək etibarlılıq

Bu istehsal üsulu həm də müxtəlif yarımkeçirici soba sistemləri üçün fərdi dizaynlar yaratmağa imkan verir.

Ultra Aşağı Çirkli Tərkibi

Yarımkeçirici istehsalında təmizlik vacibdir. SiC soba borusunun əsas material çirkliliyi 100 PPM-dən aşağı, CVD silisium karbid örtüyünün çirk tərkibi isə 1 PPM-dən aşağı səviyyədə idarə olunur.

Ultra yüksək təmizlik yarımkeçiricilərin emalı zamanı çirklənmə risklərini minimuma endirməyə kömək edir, vaflinin sabit keyfiyyətini və təkmilləşdirilmiş cihaz məhsuldarlığını təmin edir.

Aşağı çirklənmə performansı aşağıdakılar üçün xüsusilə vacibdir:

* Silikon vafli diffuziya

* Oksidləşmə prosesləri

* Güclü yarımkeçiricilərin istehsalı

* Qabaqcıl inteqral sxem istehsalı

* Mürəkkəb yarımkeçiricilərin emalı

Yüksək istilik keçiriciliyi

Silikon karbid adi soba materialları ilə müqayisədə əla istilik keçiriciliyi nümayiş etdirir. Effektiv istilik ötürülməsi soba borusuna bütün proses kamerası boyunca yüksək dərəcədə vahid temperatur paylanması saxlamağa imkan verir.

Vahid istilik performansı kömək edir:

* Prosesin ardıcıllığını yaxşılaşdırın

* Temperatur gradientlərini azaldın

* Gofret stressini minimuma endir

* Prosesin təkrarlanmasını gücləndirin

* Dəqiq istilik nəzarətini dəstəkləyin

Bu, temperaturun vahidliyinin birbaşa vafli keyfiyyətinə təsir etdiyi yüksək temperaturlu diffuziya və oksidləşmə proseslərində xüsusilə qiymətlidir.

Mükəmməl Termal Şok Sabitliyi

Yarımkeçirici soba sistemləri tez-tez sürətli isitmə və soyutma dövrlərini yaşayır. SiC Horizontal Soba Boruları krekinq və ya deformasiya olmadan şiddətli temperatur dalğalanmalarına tab gətirməyə imkan verən üstün termal zərbə müqavimətini təmin edir.

Mükəmməl termal şok sabitliyi əməliyyat etibarlılığını artırır və davamlı yüksək temperaturda istehsal şəraitində xidmət müddətini uzadır.

Güclü CVD SiC örtük yapışması

TheCVD silisium karbid örtüyüsubstrata güclü yapışma gücü ilə yüksək sıx və davamlı qoruyucu səth təbəqəsi əmələ gətirir.

Kaplama təmin edir:

* Əla korroziya müqaviməti

* Yüksək aşınma müqaviməti

* Təkmilləşdirilmiş səth təmizliyi

* Üstün kimyəvi sabitlik

* Təcavüzkar mühitlərdə yaxşılaşdırılmış ömür

Güclü örtük yapışması da uzunmüddətli əməliyyat zamanı soyulmanın və ya deqradasiyanın qarşısını alır.

Güclü Turşu Təmizləmə Müqaviməti

Yarımkeçiricilərin istehsalında texnoloji komponentlər çox vaxt yığılmış qalıqları və çirkləndiriciləri təmizləmək üçün vaxtaşırı kimyəvi təmizləmə tələb edir. SiC soba borusu təkrarlanan texniki xidmət dövrlərindən sonra sabit səth keyfiyyətini və struktur bütövlüyünü saxlayaraq güclü turşu təmizləmə proseslərinə əla müqavimət göstərir.

Bu xüsusiyyət dayanma müddətini azaltmağa kömək edir və uzunmüddətli proses sabitliyini dəstəkləyir.

SiC Horizontal Soba Borularının Tətbiqləri

SiC Horizontal Soba Boruları yarımkeçirici istilik emal avadanlıqlarında geniş istifadə olunur, o cümlədən:

* Vafli oksidləşmə sistemləri

* Yarımkeçirici diffuziya sobaları

* Qızartma avadanlığı

* LPCVD sistemləri

* İstilik emal kameraları

* Silikon vafli istehsalı

* Güclü yarımkeçiricilərin istehsalı

* SiC və GaN yarımkeçiricilərin emalı

Onlar xüsusilə ultra təmiz mühit, yüksək istilik səmərəliliyi və əla kimyəvi müqavimət tələb edən yüksək temperaturlu yarımkeçirici proseslər üçün uyğundur.

Niyə Semicorex SiC Horizontal Soba Borularını Seçməlisiniz?

Semicorex, tələbkar istilik proses mühitləri üçün hazırlanmış yarımkeçirici dərəcəli silisium karbid komponentləri üzrə ixtisaslaşmışdır. Bizim SiC Horizontal Soba Borularımız etibarlı uzunmüddətli performansı təmin etmək üçün yüksək təmizlikli materiallardan, qabaqcıl CVD örtük texnologiyasından və dəqiq keyfiyyətə nəzarət sistemlərindən istifadə etməklə istehsal olunur.

Biz təmin edirik:

* Yüksək təmizlikSiC materialları

* Həssas 3D inteqrasiya olunmuş istehsal

* Əla istilik və kimyəvi sabitlik

* Güclü CVD örtük yapışması

* Özelleştirilebilir ölçülər və strukturlar

* Yarımkeçirici dərəcəli çirklənməyə nəzarət

* Etibarlı qlobal texniki dəstək

Qabaqcıl keramika materialları və yarımkeçirici proses tətbiqləri sahəsində geniş təcrübə ilə Semicorex bütün dünyada yeni nəsil yarımkeçirici istehsalını dəstəkləyən yüksək performanslı SiC həlləri təqdim edir.