CVD SiC örtüklü soba boruları

Semicorex CVD SiC ilə örtülmüşdürsoba borularıyarımkeçirici vaflinin yüksək temperaturda müalicəsi üçün sabit reaksiya kamerasını təmin edən böyük diametrli texnoloji borulardır. Onlar oksigen (reaktiv qaz), azot (qoruyucu qaz) və az miqdarda hidrogen xlorid olan atmosferlərdə işləmək üçün hazırlanmışdır və sabit işləmə temperaturu təxminən 1250 dərəcə Selsidir.

Semicorex CVD SiC örtüklü soba borularının üstünlükləri

1. Qabaqcıl qəlibləmə texnologiyası və çevik fərdiləşdirmə istehsalı

3D çap texnologiyası, Semicorex vasitəsilə yaradılmışdırCVD SiC-örtülmüş soba boruları heç bir zəif yerləri olmayan qüsursuz, ayrılmaz bir keramika quruluşuna malikdir. Bu qəlibləmə texnologiyası xarici çirkləndiricilərin təsirli şəkildə qarşısını alan və yarımkeçirici vafli emal üçün tələb olunan temperaturu, təzyiqi və atmosfer mühitini qoruyan müstəsna qaz keçirməyən möhürü təmin edir.

Bundan əlavə, 3D çap texnologiyası həm də mürəkkəb formanın istehsalını və dəqiq ölçülü nəzarəti dəstəkləyir. Müştərilərin şaquli və ya üfüqi sobaları ilə tam uyğunluğu təmin etmək üçün müxtəlif tələblərə uyğun olaraq diametr, uzunluq, divar qalınlığı və tolerantlıqlar üçün sifarişlə istehsal olunur.

2. Vasvası material seçimi və təmizliyə nəzarət

Semicorex CVD SiC örtüklü soba boruları diqqətlə seçilmiş yarımkeçirici dərəcəli yüksək təmizlikli materialdan hazırlanır. Onların matrisinin çirk tərkibi 300 PPM-dən aşağı səviyyədə idarə olunur və CVD SiC örtüyünün çirk tərkibi 5 PPM-dən az ilə məhdudlaşdırılır. Bu ciddi təmizliyə nəzarət yüksək temperaturlu iş şəraitində çökən metal çirkləri nəticəsində yaranan vafli çirklənməni əhəmiyyətli dərəcədə azaldır ki, bu da son yarımkeçirici cihazların məhsuldarlığını və işini əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırır. Bundan əlavə, CVD SiC örtüyünün istifadəsi Semicorex CVD SiC ilə örtülmüş soba borularının yüksək temperatur müqavimətini, kimyəvi korroziyaya davamlılığını və istilik dayanıqlığını artırır və bununla da ağır iş şəraitində onların xidmət müddətini xeyli uzadır.

Çoxlu üstünlükləri ilə öyünən Semicorex CVD SiC örtüklü soba boruları yarımkeçirici vafli emalı üçün sabit, uyğun və ultra təmiz reaksiya sahəsi təmin edə bilir. Semicorex CVD SiC ilə örtülmüş soba boruları ilə mümkün olan sobaların içərisində sabit temperatur paylanması və sabit qaz atmosferi daha dəqiq dopinq diffuziyasına, termal oksidləşməyə, tavlanmaya və nazik təbəqənin çökməsinə nail olmağa kömək edir.