LPCVD üçün soba boruları

LPCVD prosesi aşağı təzyiq (adətən 0,1 ilə 1 Torr arasında dəyişir) vakuum şəraitində həyata keçirilən nazik təbəqəli çökmə prosesidir. Bu aşağı təzyiqli vakuum iş şəraiti vafli səthi boyunca prekursor qazlarının vahid yayılmasına kömək edə bilər və onu Si₃N₄, poli-Si, SiO₂, PSG və volfram kimi bəzi metal filmlər daxil olmaqla materialların dəqiq çöküntüsü üçün ideal edir.

Soba borularıvafli LPCVD emalı üçün dayanıqlı yaratma kameraları kimi xidmət edən və yarımkeçirici vaflilərin mükəmməl film vahidliyinə, müstəsna addım örtüyünə və yüksək film keyfiyyətinə töhfə verən LPCVD üçün vacib komponentlərdir.

LPCVD üçün Semicorex soba borularının üstünlükləri

1.Reliable Sızdırmazlıq performansı

LPCVD üçün Semicorex soba boruları 3D çap texnologiyasından istifadə edərək, qüsursuz, ayrılmaz bir quruluşa malikdir. Bu zəifliksiz inteqral struktur ənənəvi qaynaq və ya montaj prosesləri ilə bağlı tikişlərin və sızma risklərinin qarşısını alır, prosesin daha yaxşı möhürlənməsini təmin edir.  LPCVD üçün Semicorex soba boruları xüsusilə aşağı təzyiqli, yüksək temperaturlu LPCVD prosesləri üçün uyğundur ki, bu da texnoloji qazın sızmasının və xaricdən havanın daxil olmasının qarşısını alır.

2.Əla istilik xüsusiyyətləri

Yüksək keyfiyyətli yarımkeçirici dərəcəli xammaldan hazırlanmış LPCVD üçün Semicorex soba boruları yüksək istilik keçiriciliyi və əla istilik zərbəsinə davamlıdır. Bu üstün istilik xüsusiyyətləri LPCVD üçün Semicorex soba borularını 600 ilə 1100°C arasında dəyişən temperaturlarda sabit işləməyə və yüksək keyfiyyətli vafli termal emal üçün vahid temperatur paylamasını təmin edir.

3. Təmizliyə ciddi nəzarət

Semicorex material seçimi mərhələsindən başlayaraq soba borularının təmizliyinə nəzarət edir. Yüksək təmizlikli xammalın istifadəsi LPCVD üçün Semicorex soba borularına misilsiz aşağı çirk tərkibi verir. Matris materialının çirklilik səviyyəsi 100 PPM-dən aşağı idarə olunur və CVD SiC örtük materialı 1 PPM-dən aşağı saxlanılır. Bundan əlavə, hər bir soba borusu LPCVD prosesi zamanı çirklərin çirklənməsinin qarşısını almaq üçün çatdırılmadan əvvəl ciddi təmizlik yoxlamasından keçir.

4.Uniform və sıx örtükdən qorunma

Kimyəvi buxarın çökməsi vasitəsilə LPCVD üçün Semicorex soba boruları sıx və vahid SiC örtüyü ilə möhkəm örtülür. BunlarCVD SiC örtüklərigüclü yapışma nümayiş etdirir ki, bu da hətta sərt yüksək temperatur və korroziyaya məruz qaldıqda belə örtük soyulması və komponentin deqradasiyası risklərinin qarşısını alır.