SiC Disk Qəbuledicisi

Keyfiyyətə və innovasiyaya dərin sadiqliyi ilə Semicorex-in ultra təmiz SiC Disk Susseptoru epitaksiya, MOCVD və RTP avadanlıqlarında performans üçün yeni standart müəyyən edir. Müstəsna istilik zərbələrinə davamlılığı, üstün istilik keçiriciliyini, üstün kimyəvi müqaviməti və ultra yüksək təmizliyi birləşdirərək, bu mühəndis komponentləri misilsiz səmərəlilik, etibarlılıq və məhsul keyfiyyətinə nail olmaq üçün yarımkeçirici istehsalçılarına imkan verir. Semicorex-in fərdiləşdirilə bilən həlləri daha da təmin edir ki, hər bir istilik emal tətbiqi onun unikal tələblərinə cavab vermək üçün hazırlanmış optimallaşdırılmış, dəqiqliklə hazırlanmış komponentlərdən faydalanır.

Üstün termal şok müqaviməti:SiC Disc Susceptor, RTP və digər yüksək temperatur proseslərində tez-tez rast gəlinən sürətli temperatur dalğalanmalarına tab gətirməkdə üstündür. Bu müstəsna termal şok müqaviməti struktur bütövlüyünü və uzunömürlülüyünü təmin edir, ani temperatur dəyişiklikləri nəticəsində zədələnmə və ya nasazlıq riskini minimuma endirir və istilik emal avadanlığının etibarlılığını artırır.

Üstün istilik keçiriciliyi:İstilik emal tətbiqlərində səmərəli istilik ötürülməsi vacibdir. SiC Disc Susceptor-un əla istilik keçiriciliyi dəqiq temperatur nəzarəti və prosesin vahidliyi üçün vacib olan sürətli və vahid isitmə və soyutma təmin edir. Bu, təkmilləşdirilmiş proses səmərəliliyinə, azaldılmış dövrə müddətinə və daha yüksək keyfiyyətli yarımkeçirici vaflilərə gətirib çıxarır.

Müstəsna Kimyəvi Müqavimət:SiC Disc Susceptor, epitaksiya, MOCVD və RTP proseslərində istifadə olunan geniş spektrli aşındırıcı və reaktiv kimyəvi maddələrə əla müqavimət göstərir. Bu kimyəvi təsirsizlik əsas qrafiti deqradasiyadan qoruyur, proses mühitinin çirklənməsinin qarşısını alır və uzun müddət ərzində davamlı işləməyi təmin edir.

Ultra Yüksək Saflıq: SiC Disc Susceptor çirklənmə potensialından qaçaraq və qüsursuz yarımkeçirici cihazların istehsalını təmin edərək həm qrafit, həm də SiC örtüyü üçün ultra yüksək təmizlik standartlarına uyğun istehsal edilmişdir. Təmizliyə olan bu öhdəlik daha yüksək məhsuldarlıq və təkmilləşdirilmiş cihaz performansı deməkdir.

Kompleks Formaların Mövcudluğu:Semicorex-də qabaqcıl istehsal imkanları SiC Disc Susceptor-un xüsusi müştəri tələblərinə uyğunlaşdırılmış mürəkkəb formalarda istehsalına imkan verir. Bu çeviklik müxtəlif istilik emal tətbiqlərinin dəqiq ehtiyaclarına cavab verən fərdi həllərin dizaynına imkan verir, prosesin səmərəliliyini və avadanlıq uyğunluğunu artırır.

Oksidləşdirici atmosferlərdə istifadə edilə bilər:Möhkəm CVD SiC örtüyü oksidləşməyə qarşı əla qoruma təmin edir və SiC Disc Susceptor-a oksidləşdirici mühitlərdə etibarlı şəkildə işləməyə imkan verir. Bu, onların çox yönlü və uyğunlaşma qabiliyyətini təmin edərək daha geniş istilik proseslərinə tətbiqini genişləndirir.

Möhkəm, təkrarlanan performans:Yüksək temperatur və vakuum mühitləri üçün nəzərdə tutulmuş SiC Disc Susceptor möhkəm və təkrarlana bilən performans təklif edir. Onun davamlılığı və ardıcıllığı onları kritik istilik emal tətbiqləri üçün ideal edir, dayanma müddətini, texniki xidmət xərclərini azaldır və uzunmüddətli əməliyyat etibarlılığını təmin edir.

Semicorex istilik emal avadanlığının müxtəlif ehtiyaclarını ödəmək üçün CVD SiC ilə örtülmüş komponentlərin fərdiləşdirilməsində ixtisaslaşmışdır, o cümlədən:

Diffuzorlar:Qaz paylama vahidliyini və prosesin ardıcıllığını gücləndirin.

İzolyatorlar:Yüksək temperaturlu mühitlərdə istilik izolyasiyası və qoruma təmin edin.

Digər Xüsusi Termal Komponentlər:Xüsusi proses tələblərinə cavab vermək və avadanlıq performansını optimallaşdırmaq üçün hazırlanmış xüsusi həllər.