Sic örtülmüş qrafit tepsisi

Epitaksial avadanlıqların əsas komponenti olaraq,Sic örtülmüş qrafit tepsisi, epitaksial qat artımının istehsal səmərəliliyinə, vahidliyini və qüsurlu dərəcəsinə birbaşa təsir göstərir.    

Qrafit təmizlənməsi, dəqiqlik emalı və təmizləyici müalicə, qrafit substratının səthi əla düzlük və hamarlıq əldə edə bilər, hissəcik çirklənməsi riskindən qaçınmaqla mükəmməl düzlük və hamarlıq əldə edə bilər. Kimyəvi buxar çökməsi yolu ilə, qrafit substratının səthi, sıx, məsaməsiz və vahid qalın bir silikon karbid (SIC) örtüyü yaradan reaktiv qazla kimyəvi reaksiya keçirir. Substrat hazırlığından örtük müalicəsinə qədər, bütün istehsal prosesi 100 təmizlik, yarımkeçiricilər üçün uyğun olan təmizlik standartlarını təmin edən bir sinifdə aparılır.

Yüksək saflıqlı aşağı çirkli qrafit və sic materiallarından hazırlanan sic örtülmüş qrafit tepsisi, əla istilik keçiriciliyi və istilik genişlənməsinin aşağı əmsalına malikdir. Yalnız sic örtüklü qrafit tepsisini epitaksial təbəqənin böyümə keyfiyyətini yaxşılaşdırmaq üçün və vahid şəkildə istilik stressi ilə örtük tökmə və ya çatlama riskini effektiv şəkildə azaldır. Bundan əlavə, vahid və sıx sic örtük yüksək temperatur, oksidləşmə və korroziyaya davamlıdır, uzun müddət yüksək temperatur və aşındırıcı qaz şərtləri altında sabit əməliyyat təmin edir.

Sic örtüklü qrafit tepsisi metal üzvi kimyəvi buxar depor (mocvd) avadanlıqları ilə daha yüksək uyğunluğa malikdir. Diqqətlə ölçülmüş və müxtəlif proses parametrlərinə və avadanlıq tələblərinə uyğunlaşmaq üçün hazırlanmışdır. Semikorex həmişə dəyərli müştərilərimizə fərqli ölçülər, örtüklər üçün qalınlıq və səth örtüklü qrafit tepsisinin yerüstü pürüzlülüyü üçün dəyərli müştərilərimizə peşəkar uyğunlaşdırıcı xidmətləri təklif etməkdə israr edir.