Gofret qəbuledicisi

Semicorex Wafer Susceptor, müasir yarımkeçirici istehsalının tələbkar şərtlərinə cavab vermək üçün qrafitdən ustalıqla hazırlanmış və silisium karbid (SiC) ilə örtülmüşdür.

Epitaksiya proseslərində sabit və idarə olunan mühitin saxlanması tamamilə vacibdir. Wafer Susceptor, yüksək keyfiyyətli epitaksial təbəqələrə nail olmaq üçün temperaturun vahidliyi, kimyəvi təsirsizlik və mexaniki möhkəmlik üçün dəqiq tələblərə cavab verən, çökmə zamanı vaflilərin yerləşdirildiyi təməl platforma rolunu oynayır.

Wafer Susceptor üçün əsas material kimi qrafitin seçilməsi onun əla istilik keçiriciliyi və mexaniki xassələri ilə şərtlənir. Qrafitin struktur bütövlüyünü qoruyarkən yüksək temperaturlara tab gətirmək qabiliyyəti epitaksi reaktorlarının yüksək temperaturlu mühitlərində çox vacibdir. Bundan əlavə, qrafitin istilik keçiriciliyi vafli üzərində səmərəli istilik paylanmasını təmin edərək, epitaksial təbəqədə qüsurlara səbəb ola biləcək temperatur qradiyenti riskini azaldır.

Wafer Susceptor-un performansını artırmaq üçün qrafit bazasına silisium karbid (SiC) örtük ustalıqla tətbiq olunur. SiC yüksək kimyəvi müqavimətə malik yüksək davamlı materialdır və onu reaktiv qazların tez-tez mövcud olduğu yarımkeçirici mühitlərdə istifadə üçün ideal edir. SiC örtüyü qrafiti potensial kimyəvi reaksiyalardan qoruyan qoruyucu bir maneə təmin edir, vafli həzmedicinin uzunömürlülüyünü təmin edir və reaktorda təmiz mühiti qoruyur.

SiC ilə örtülmüş qrafitdən hazırlanmış Semicorex Gofret Susseptoru yarımkeçirici epitaksiya proseslərində əvəzsiz komponentdir. Qrafitin istilik və mexaniki xüsusiyyətlərinin silisium karbidinin kimyəvi və istilik sabitliyi ilə birləşməsi onu müasir yarımkeçirici istehsalının ciddi tələbləri üçün ideal şəkildə uyğunlaşdırır. Tək vafli dizayn yüksək keyfiyyətli yarımkeçirici cihazların istehsalına töhfə verən epitaksiya prosesinə dəqiq nəzarət təklif edir. Bu qoruyucu vaflilərin son dərəcə diqqətli və dəqiqliklə idarə olunmasını təmin edir, nəticədə üstün epitaksial təbəqələr və daha yaxşı performans göstərən yarımkeçirici məhsullar əldə edilir.