Semicorex-in vafli emal üçün PSS aşındırıcı daşıyıcı qabı xüsusilə tələbkar epitaksiya avadanlığı tətbiqləri üçün nəzərdə tutulmuşdur. Bizim ultra təmiz qrafit daşıyıcımız MOCVD, epitaksiya həssaslığı, pancake və ya peyk platformaları kimi nazik təbəqəli çökmə mərhələləri və aşındırma kimi vafli emal üçün idealdır. Gofret Emalı üçün PSS Aşınma Daşıyıcı Tablası yüksək istilik və korroziyaya davamlılığa, əla istilik paylama xüsusiyyətlərinə və yüksək istilik keçiriciliyinə malikdir. Məhsullarımız sərfəli qiymətə malikdir və yaxşı qiymət üstünlüyünə malikdir. Biz bir çox Avropa və Amerika bazarlarına xidmət göstəririk və Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Semicorex-dən vafli emal üçün PSS aşındırma daşıyıcı qabı epitaksial böyümə və vafli ilə işləmə prosesləri üçün tələb olunan sərt mühitlər üçün hazırlanmışdır. Bizim ultra təmiz qrafit daşıyıcımız MOCVD və epitaksiya ləvazimatları, pancake və ya peyk platformaları kimi nazik təbəqənin çökmə mərhələlərində vafliləri dəstəkləmək üçün nəzərdə tutulmuşdur. SiC örtüklü daşıyıcı yüksək istilik və korroziya müqavimətinə, əla istilik paylama xüsusiyyətlərinə və yüksək istilik keçiriciliyinə malikdir. Məhsullarımız sərfəli qiymətə malikdir və yaxşı qiymət üstünlüyü təklif edir.
Gofret emalı üçün PSS aşındırma daşıyıcı qabının parametrləri
CVD-SIC Kaplamasının Əsas Xüsusiyyətləri |
||
SiC-CVD Xüsusiyyətləri |
||
Kristal strukturu |
FCC β mərhələsi |
|
Sıxlıq |
q/sm³ |
3.21 |
Sərtlik |
Vickers sərtliyi |
2500 |
Taxıl ölçüsü |
μm |
2~10 |
Kimyəvi Saflıq |
% |
99.99995 |
İstilik tutumu |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimasiya temperaturu |
℃ |
2700 |
Feleksual Gücü |
MPa (RT 4 bal) |
415 |
Young's Modulu |
Gpa (4pt əyilmə, 1300â) |
430 |
Termal Genişlənmə (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
İstilikkeçirmə |
(Vt/mK) |
300 |
Gofret Emalı üçün PSS Ovma Daşıyıcı Tablasının Xüsusiyyətləri
- Soyulmaqdan çəkinin və bütün səthin örtülməsini təmin edin
Yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti: 1600°C-ə qədər yüksək temperaturda sabitdir
Yüksək təmizlik: yüksək temperaturda xlorlama şəraitində CVD kimyəvi buxar çökdürülməsi ilə hazırlanmışdır.
Korroziyaya davamlılıq: yüksək sərtlik, sıx səth və incə hissəciklər.
Korroziyaya davamlılıq: turşu, qələvi, duz və üzvi reagentlər.
- Ən yaxşı laminar qaz axını modelinə nail olun
- Termal profilin bərabərliyinə zəmanət verir
- Hər hansı çirklənmənin və ya çirklərin yayılmasının qarşısını alın