Homoepitaksiya və heteroepitaksiya material elmində əsas rol oynayır. Homoepitaksiya eyni materialın substratında kristal təbəqənin böyüməsini nəzərdə tutur, mükəmməl şəbəkə uyğunluğu səbəbindən minimal qüsurları təmin edir. Bunun əksinə olaraq, heteroepitaksi fərqli bir material substratında krista......
Daha çox oxu300 mm diametrli silikon cilalama vafliləri üçün 0,13μm-dən 28nm-ə qədər xətt genişliyi ilə IC çip dövrə proseslərinin yüksək keyfiyyət tələblərinə nail olmaq üçün vaflinin səthində metal ionları kimi çirklərin çirklənməsini minimuma endirmək vacibdir.
Daha çox oxu