Müasir texnoloji inkişafın təməl daşı olan yarımkeçiricilərin istehsalı daim daha kiçik, daha sürətli və daha səmərəli inteqral sxemlərin axtarışındadır. Bu amansız axtarış getdikcə daha dəqiq və mürəkkəb istehsal proseslərinə ehtiyac yaradır, burada hər bir addım yüksək performanslı, yüksək keyfiyy......
Daha çox oxuElektrostatik çubuqlar (ESC) yarımkeçiricilərin istehsalında və düz panelli displey istehsalında əvəzolunmaz hala gəldi, kritik emal mərhələləri zamanı zərif vafli və alt təbəqələrin saxlanması və yerləşdirilməsi üçün zərərsiz, yüksək idarə olunan üsul təklif edir. Bu məqalə ESC texnologiyasının inc......
Daha çox oxuSilikon karbidin əhəmiyyətli bir politipi olan 3C-SiC-nin inkişafı yarımkeçirici material elminin davamlı inkişafını əks etdirir. 1980-ci illərdə Nishino et al. ilk olaraq kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) [1] istifadə edərək silikon substratda 4 μm qalınlığında 3C-SiC filmi əldə etdi və 3C-SiC nazik fil......
Daha çox oxu