Yüksək səviyyəli elektrostatik çak üçün səth müalicəsi

BuelektrostatikVahid elektrostatik axıdılması, istilik keçiriciliyi və boşalma istehsalçısı sahəsində bir çox funksiyanı, istilik keçiriciliyi və sökücü istehsal sahəsində yerləşdirin. ESC-nin əsas funksiyalarından biri də yüksək vakuum, güclü plazma və geniş temperatur aralığı kimi ekstremal əməliyyat şəraitində sabit adorb hörüklərdir.

Onların performansının xarici quruluşu və ya baza material formulu olmadığını, ancaq səthdə müalicə prosesi olmadığını müəyyənləşdirən şey, əməliyyat zamanı peşəkar səth müalicəsi, əməliyyat zamanı aşağıdakı problemlərlə qarşılaşacaq:

1. Plazma eroziyası və metal ion çirklənməsi

Qiymətləndirilməmiş keramika səthləri etching və ya CVD prosesi parametrlərində plazma eroziyasına həssasdır.

2. Qeyri-bərabər istilik keçiriciliyi və döyüş deformasiyası

Kobud səthlər və ya zəif müalicə nəticəsi gofret ilə qeyri-bərabər təmasdaEskizİstilik keçiriciliyinə mane olan və CD vahidliyinə təsir edən.

3. Qeyri-sabit elektrostatik adsorbsiya

Səthi izolyasiya performansına və ya elektrostatik çuckun keçiriciliyinin qeyri-dəqiq idarəsi asanlıqla adsorbsiya gücünə və ya həddindən artıq adsorbsiyaya səbəb ola bilər, nəticədə gofret emalının məhsuldarlığına təsir göstərir.

Yüksək səviyyəli ESCS-nin səthi tez-tez, həqiqi yüksək performanslı inteqrasiyaya nail olmaq üçün örtüklər vasitəsilə dəqiq tənzimləyən bir çox qatlı quruluş dizaynını qəbul edir.

Yüksək səviyyəli ESCS-nin ümumi səthi təmizləyici texnologiyaları:

1.Fluoropolimer Yapışqan örtüklər (məsələn, PTFE və PFA)

Bu cür örtük, aşağı səviyyədə temperaturlu proses mühitləri üçün xüsusilə aşağı temperaturlu proses mühiti, fotorezist qalıqlarının adsorbsiyasına təsirli olan aşağı səthsiz enerji mühitidir.

2. Almaz kimi karbon (DLC) örtükləri

Yüksək sərtlik, plazma müqaviməti və aşağı sürtünmə əmsalı ilə, eroziyon əleyhinə və hissəciklər üçün əleyhinə əleyhinə dəstə tətbiqetmələri üçün uyğundur.

3. PVD keçirici keramika filmləri (məsələn, CRSIN və TIN)

Bu növ örtük müəyyən bir ərazidə sabit keçirici bir yol qura bilər və bununla da səth ittihamlarının vahid axıdılmasına dəqiq nəzarət etməklə yerli şarj yığılması probleminin qarşısını alır.

4.Compozit istilik keçirici örtüklər (almaz tozu və flüoropolimer hibrid örtük kimi)

Qiymətləndirilməmiş keramika səthləri etching və ya CVD prosesi parametrlərində plazma eroziyasına həssasdır.