Semicorex Monokristal Silikon Vafli Susceptor qrafit epitaksisi və vafli ilə işləmə prosesləri üçün ideal həlldir. Ultra təmiz məhsulumuz minimal çirklənməni və müstəsna uzun ömürlü performansı təmin edərək, onu bir çox Avropa və Amerika bazarlarında məşhur seçim edir. Çində yarımkeçirici vafli daşıyıcıların aparıcı təchizatçısı kimi biz sizin uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Bizim Monokristal Silikon epitaksial Susseptorumuz yüksək istilik və korroziyaya davamlılığa malik yüksək təmizlik SiC ilə örtülmüş qrafit məhsuldur. CVD silisium karbidlə örtülmüş daşıyıcı yarımkeçirici vaflilərdə epitaksial təbəqə meydana gətirən proseslərdə istifadə olunur. Yarımkeçiricilərin səmərəli və dəqiq istehsalı üçün vacib olan yüksək istilik keçiriciliyinə və əla istilik paylama xüsusiyyətlərinə malikdir.
Monokristal Silikon Vafli Susseptorumuzun əsas xüsusiyyətlərindən biri onun əla sıxlığıdır. Həm qrafit substratı, həm də silisium karbid təbəqəsi yaxşı sıxlığa malikdir və yüksək temperaturlu və korroziyalı iş mühitlərində yaxşı qoruyucu rol oynaya bilər. Tək kristalların böyüməsi üçün istifadə edilən silisium karbidlə örtülmüş sensor yüksək keyfiyyətli vafli istehsalını saxlamaq üçün vacib olan çox yüksək səth düzlüyünə malikdir.
Məhsulumuzun digər mühüm xüsusiyyəti onun qrafit substratı ilə silisium karbid təbəqəsi arasında istilik genişlənmə əmsalı fərqini azaltmaq qabiliyyətidir. Bu, yapışma gücünü effektiv şəkildə artırır, çatlamanın və təbəqələşmənin qarşısını alır. Bundan əlavə, həm qrafit substratı, həm də silisium karbid təbəqəsi yüksək istilik keçiriciliyinə və əla istilik paylama xüsusiyyətlərinə malikdir, bu da istehsal prosesi zamanı istiliyin bərabər paylanmasını təmin edir.
Bizim Monokristal Silikon Gofret Qabağımız həm də yüksək temperaturda oksidləşməyə və korroziyaya davamlıdır və onu etibarlı və davamlı məhsul edir. Yüksək ərimə nöqtəsi onun səmərəli yarımkeçirici istehsalı üçün tələb olunan yüksək temperatur mühitinə tab gətirə bilməsini təmin edir.
Nəticə olaraq, Semicorex Monokristal Silikon Vafli Susseptor qrafit epitaksisi və vafli ilə işləmə prosesləri üçün ultra təmiz, davamlı və etibarlı həlldir. Mükəmməl sıxlığı, səthi hamarlığı və istilik keçiriciliyi onu yüksək temperatur və korroziyalı mühitlərdə istifadə üçün ideal edir. Biz rəqabətədavamlı qiymətlərlə yüksək keyfiyyətli məhsullar təqdim etməkdən qürur duyuruq və bütün yarımkeçirici vafli daşıyıcı ehtiyaclarınız üçün sizinlə əməkdaşlıq etməyi səbirsizliklə gözləyirik.
Monokristal Silikon Vafli Susseptorun Parametrləri
CVD-SIC Kaplamasının Əsas Xüsusiyyətləri |
||
SiC-CVD Xüsusiyyətləri |
||
Kristal strukturu |
FCC β mərhələsi |
|
Sıxlıq |
q/sm³ |
3.21 |
Sərtlik |
Vickers sərtliyi |
2500 |
Taxıl ölçüsü |
μm |
2~10 |
Kimyəvi Saflıq |
% |
99.99995 |
İstilik tutumu |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimasiya temperaturu |
℃ |
2700 |
Feleksual Gücü |
MPa (RT 4 bal) |
415 |
Young's Modulu |
Gpa (4pt əyilmə, 1300â) |
430 |
Termal Genişlənmə (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
İstilikkeçirmə |
(Vt/mK) |
300 |
Monokristalin Silikon Vafli Susseptorunun Xüsusiyyətləri
- Soyulmadan qaçın və bütün səthin örtülməsini təmin edin
Yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti: 1600°C-ə qədər yüksək temperaturda sabitdir
Yüksək təmizlik: yüksək temperaturda xlorlama şəraitində CVD kimyəvi buxar çökdürülməsi ilə hazırlanmışdır.
Korroziyaya davamlılıq: yüksək sərtlik, sıx səth və incə hissəciklər.
Korroziyaya davamlılıq: turşu, qələvi, duz və üzvi reagentlər.
- Ən yaxşı laminar qaz axını modelinə nail olun
- Termal profilin bərabərliyinə zəmanət verir
- Hər hansı çirklənmənin və ya çirklərin yayılmasının qarşısını alın