Elektrostatik Chuck ESC

Semicorex Electrostatic Chuck ESC, dielektrik keramika təbəqəsinə tətbiq olunan yüksək gərginlikli birbaşa cərəyandan (DC) istifadə edərək, elektrostatik yapışma prinsipi əsasında işləyir. Bu texnologiya emal zamanı vaflilərin və ya digər materialların etibarlı şəkildə bərkidilməsinə imkan verir, müxtəlif istehsal mərhələlərində həm sabitliyi, həm də dəqiqliyi təmin edir.

Çuxura yüksək DC gərginliyi tətbiq edildikdə, keramika dielektrik təbəqəsinin içərisindəki yüklənmiş ionlar miqrasiya edir və onun səthində toplanır. Bu, çubuq və emal ediləcək məhsul arasında güclü elektrostatik sahə yaradır. Yaranan elektrostatik cazibə vafli yerində saxlamaq üçün kifayət qədər möhkəmdir, hətta mürəkkəb və yüksək dəqiqlikli əməliyyatlar zamanı onun hərəkətsiz qalmasını təmin edir. Bu təhlükəsiz saxlama çox vacibdir, çünki o, işlənmiş vaflilərin keyfiyyətinə və bütövlüyünə xələl gətirə biləcək mikro hərəkətləri və vibrasiyaları azaltmağa kömək edir. Vafliləri minimum mexaniki təmasla təmin etmək imkanı həm də fiziki zədələnmənin qarşısını alır ki, bu da ənənəvi sıxma üsullarından fərqli üstünlükdür.

J-R tipli Elektrostatik Chuck ESC bu elektrostatik yapışmanı yaratmaq üçün vacib olan daxili elektrodlarla təchiz edilmişdir. Bu elektrodlar elektrostatik qüvvəni vaflinin və ya emal olunan digər materialların səthində bərabər paylamaq üçün çuxurun içərisində yerləşdirilir. Bu bərabər paylama, aşındırma, ion implantasiyası və çökmə kimi mürəkkəb proseslər zamanı vahidliyi qorumaq üçün zəruri olan ardıcıl təzyiqi təmin edir. Elektrostatik Chuck ESC tərəfindən təklif olunan dəqiq yapışma ona müasir yarımkeçirici istehsalının tələbkar xüsusiyyətlərini yerinə yetirməyə imkan verir.

Əsas yapışma funksiyasına əlavə olaraq, Elektrostatik Chuck ESC mürəkkəb temperatur nəzarət sisteminə malikdir. Çuxur emal olunan məhsulun temperaturunu tənzimləmək üçün nəzərdə tutulmuş inteqrasiya edilmiş qızdırıcı elementləri ehtiva edir. Temperatur nəzarəti yarımkeçirici istehsalında həlledici amildir, çünki hətta kiçik temperatur dəyişiklikləri prosesin nəticəsinə təsir göstərə bilər. Elektrostatik Chuck ESC çox zonalı temperatur nəzarətini təklif edir ki, bu da vaflinin müxtəlif bölmələrinin müstəqil olaraq qızdırılmasına və ya soyudulmasına imkan verir. Bu, vaflinin bütün səthi boyunca temperaturun ardıcıl olaraq saxlanılmasını təmin edir, vahid emal nəticələrini təşviq edir və termal zədələnmə və ya əyilmə riskini azaldır.

Elektrostatik Chuck ESC-nin tikintisində yüksək təmizlikli materiallardan istifadə digər diqqətəlayiq xüsusiyyətdir. Bu çəngəl üçün seçilmiş materiallar yarımkeçiricilərin istehsalında mühüm əhəmiyyət kəsb edən hissəciklərin çirklənməsini minimuma endirmək üçün nəzərdə tutulmuşdur. Hətta kiçik hissəciklər istehsal olunan mikrostrukturlarda qüsurlara səbəb ola bilər ki, bu da məhsuldarlığın azalmasına və məhsulun potensial uğursuzluğuna səbəb olur. Yüksək təmizlikli materiallardan istifadə etməklə, Elektrostatik Chuck ESC emal mühitinə çirkləndiricilərin daxil olması riskini azaldır və beləliklə, yüksək keyfiyyətli istehsalı dəstəkləyir.

Elektrostatik Chuck ESC plazma eroziyasına davamlıdır. Bir çox yarımkeçirici proseslərdə, xüsusən aşındırma və çökdürmə zamanı çubuq reaktiv plazma mühitinə məruz qalır. Vaxt keçdikcə bu məruz qalma çubuqda istifadə olunan materialları pisləşdirə, onun performansına və xidmət müddətinə təsir göstərə bilər. Elektrostatik Chuck ESC xüsusi olaraq plazma eroziyasına müqavimət göstərmək üçün hazırlanmışdır ki, bu da ona sərt emal mühitlərində belə struktur bütövlüyünü və performansını qorumağa imkan verir. Bu davamlılıq daha uzun xidmət müddətinə çevrilir, tez-tez dəyişdirmə ehtiyacını azaldır və istehsal xəttində dayanma müddətini minimuma endirir.

Elektrostatik Chuck ESC-nin mexaniki xassələri də mühüm əhəmiyyət kəsb edir. Çəkmə, xüsusi tətbiqləri üçün tələb olunan dəqiq forma və ölçüləri saxlamasını təmin edərək, son dərəcə sıx tolerantlıqlara görə istehsal olunur. Tələb olunan səth düzlüyünə və hamarlığına nail olmaq üçün yüksək dəqiqlikli emal üsullarından istifadə olunur ki, bu da hətta elektrostatik yapışmanı təmin etmək və zərif vaflilərə zərər vermə riskini minimuma endirmək üçün vacibdir. Çuxurun mexaniki gücü də eyni dərəcədə təsir edicidir, ona yüksək temperatur və yüksək təzyiqli proseslər zamanı deformasiyaya uğramadan və ya vafli təhlükəsiz tutma qabiliyyətini itirmədən fiziki gərginliyə tab gətirməyə imkan verir.