Alüminium Nitrid Elektrostatik Çubuqlar

Alüminium Nitrid Elektrostatik Qapaqlar müxtəlif yarımkeçirici istehsal prosesləri zamanı vafliləri etibarlı şəkildə saxlamaq üçün elektrostatik qüvvələrdən istifadə edir. Bu üsul mexaniki sıxaclara və ya vakuum sistemlərinə ehtiyacı aradan qaldırır, zərif vaflilərdə hissəciklərin əmələ gəlməsi və mexaniki gərginlik riskini azaldır. Alüminium Nitrid Elektrostatik Çubukların əsas üstünlüklərindən biri onların bütün vafli səthində yüksək vahid və sabit elektrostatik qüvvə yaratmaq qabiliyyətidir. Bu, ardıcıl təması təmin edir və emal zamanı vaflinin sürüşməsinin və ya deformasiyasının qarşısını alır, yığılmış plyonkalarda, həkk olunmuş xüsusiyyətlərdə və digər kritik parametrlərdə təkmilləşdirilmiş vahidliyə gətirib çıxarır. Bu vahid sıxma qüvvəsi həmçinin vafli təhrifi minimuma endirərək cihazın işini və məhsuldarlığını artırır.

İstilik xassələrinə gəlincə, Alüminium Nitrid Elektrostatik Çubuqların yüksək istilik keçiriciliyi yüksək temperatur prosesləri zamanı səmərəli istilik yayılmasına imkan verir, termal gərginliyin qarşısını alır və vaflidə temperaturun vahid paylanmasını təmin edir. Bu, lokallaşdırılmış istilik cihazın işinə mənfi təsir göstərə bilən sürətli termal emal və plazma aşındırma kimi tətbiqlərdə çox vacibdir. Üstəlik, yarımkeçiricilərin istehsalı prosesi tez-tez temperaturun sürətli keçidlərini əhatə edir. Alüminium Nitrid Elektrostatik Çubuqların yüksək termal zərbəyə davamlılığı ona deqradasiya və çatlama olmadan bu qəfil temperatur dəyişikliklərinə tab gətirməyə imkan verir və uzun müddətli istifadə zamanı paqonun uzunömürlülüyünü və etibarlı performansını təmin edir. Üstəlik, AlN, silikon vaflilərə yaxından uyğun gələn istilik genişlənmə əmsalına (CTE) malikdir. Bu uyğunluq, termal dövriyyə zamanı vafli çəngəl interfeysində yaranan gərginliyi minimuma endirərək, vafli yayının, təhrifin və cihazın məhsuldarlığına və performansına təsir edə biləcək potensial qüsurların qarşısını alır.

AlN yüksək əyilmə gücü və qırılma möhkəmliyinə malik mexaniki cəhətdən möhkəm materialdır. Bu özünəməxsus güc, Alüminium Nitrid Elektrostatik Çubuklara yüksək həcmli istehsal zamanı rast gəlinən mexaniki gərginliklərə tab gətirməyə imkan verir, ardıcıl performans və uzadılmış əməliyyat müddətini təmin edir. Digər tərəfdən, AlN yarımkeçiricilərin emalında geniş istifadə olunan kimyəvi maddələrə və plazmalara qarşı əla müqavimət nümayiş etdirir. O, həmçinin yüksək temperaturda belə üstün oksidləşmə müqaviməti nümayiş etdirir və Alüminium Nitrid Elektrostatik Çubukların səthinin istismar müddəti ərzində təmiz və çirklənməməsini təmin edir.

Semicorex alüminium nitrid elektrostatik çubuqlar müxtəlif vafli diametrləri və proses tələblərini yerinə yetirmək üçün müxtəlif ölçülərdə və qalınlıqlarda mövcuddur. Bu uyğunlaşma onları tədqiqat və inkişafdan tutmuş yüksək həcmli istehsala qədər geniş çeşiddə yarımkeçirici istehsal proqramları üçün uyğun edir.