Sic avardles

Semikorex SIC paddles, sobaların 1000 dərəcədən daha isti olan sobalara gofret alaraq gofret "daşıyıcısı" dır. Bu, onların əsas faydasıdır: yüksək saf, yüksək temperaturlu sabitlik, nümunəni ekstremal mühitlərdə nəql edərkən mexaniki sərtliyi qorumaq üçün. Yüksək təmizlik materialları metal çirkləri vafleri çirkləndirməkdən çıxarmaq üçün təsirli olur; belə də yüksək temperatur sabitliyi edirsilikon karbid, metal çirkləri və ya hissəciklərin qarşısını alan temperaturun emalında kimyəvi sabitliyi qoruyacağı və ya sabit bir gofret məhsuldarlığını təmin etmək, vaflonun çirkləndirməkdən çəkinərək. Nəhayət,cantilever avarlarıİnteqrasiya edilmiş vafli köçürmə sistemlərinə uyğundur, insanlara asılılığı azaldır və artan ötürmə.

SIC Paddles, digərləri arasında yüksək temperatur oksidləşmə və yayılma kimi proseslərdə yarımkeçirici vferin nəql və inteqrasiyası üçün, daşıyıcısının unikal hissəsidir. Yüksək saflıqla hazırlanmışdırsilikon karbid (sic), SIC paddles, 1000 ° C temperaturun üstündəki sabit nəqliyyatı təmin etmək üçün istilik sabitliyini, mexaniki gücünü və kimyəvi davamlılığı təmin edir. SIC işləmə üçün SIC paddles tələb olunur: Kövrək substratların oksidləşmə, yayılması və ilahi prosesi boyunca bütövlüyü və ardıcıllığı qoruyarkən lazımi şəkildə idarə olunacağını təmin edəcəkdir.

Sağlam və etibarlı olmaq üçün hazırlanmış, sic avardles, vafli qayıqları və ya gofret yığınları saxlayan Cantilever tipli bir qoldur. Avarçəkmə otağından daxil edilərkən və ya çıxarıldıqda, boşqabları dəstəkləyir. Adi materiallar deformasiya, dəyişdirmə və ya kimyəvi deqradasiya yolu ilə bu yüksək temperaturda uğursuz olur. Silikon karbidinin mexaniki sabitliyi və struktur bütövlüyü, avarçəkməyə və ya funksiyanı itirmədən birdən çox istilik dövrü yaşamağa imkan verir. Bu qabiliyyət, sobanın hizalanmasını qorumaq üçün vacibdir, emal zamanı boşalmaların zədələnməməsini və bahalı iş vaxtını minimuma endirilməsini təmin edir.

SIC paddles'in istilik sabitliyi, ümumiyyətlə oksidləşmə və diffuziya proseslərində (məsələn, oksigen, xlor və digər aqren, xlor və digər aqressiv növlər və digər aqressiv növlər) olan reaktiv qazlara mükəmməl kimyəvi müqaviməti ilə tamamlanır. Həm yüksək temperatur, həm də oksigenə məruz qaldıqda bir çox material məhv olacaq və ya çirklənəcəkdir. Silikon karbidinin kimyəvi cəhətdən hərəkətsizdir və sıx mikrostürür, kimyəvi reaksiyaların hər iki avar struktur bütövlüyünü və vafleri üçün təmiz bir mühit təmin etməsini təmin edir. Çirklənmə riski, rezervinamaların elementlərinin izlənməsi üçün ən qabaqcıl proses qovşaqlarında fəaliyyət göstərən yarımkeçirici istehsalçıları üçün minimum səviyyədə saxlanılır.

SIC paddles ilə əlaqəli mexaniki bütövlük də işləmə proseslərində dəyər verir. Cantilever struktur forması, qat çantalarının çəkilərini saxlaya bilən və əyilməyən və ya sag verməyən bir material tələb edir. Silikon karbidinin çox yüksək modulu və çox yüksək sərtliyi tələb olunan mexaniki struktur funksiyası üçün yaxşı bir fikir verir. SIC avarası, hətta gofret ilə yüklənmiş hər iki düz və quruluşu saxlayır. Bu, uzun istehsal dövrləri zamanı ocağın daimi nəzarəti deməkdir.