Sic keramik avar

Semikorex SIC SERAMIC PADDE, oksidləşmə və yayılma kimi yüksək temperaturlu yarımkeçirici soba tətbiqləri üçün hazırlanmış inkişaf etmiş bir hissədir. Avar, kantole, gofreti yüksək temperaturda saxlamaq və hərəkət etmək üçün dəstəkləyir. Semikorex SIC SERAMIC Yastdle, istehsal prosesi ilə etibarlılıq, sabitlik və performans tələb edən yüksək temperaturlu proseslərə yüksək təmizlik, yüksək güclü keramika komponentləri verir.

Yastıqlar yüksək safdan istehsal olunursilikon karbid (sic), yarımkeçirici istehsal prosesinin sərt istilik və kimyəvi mühitinə tab gətirmək üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdır. Wafters oksidləşmə və yayılma yolu ilə müalicə edildikdə, gofret, 1000 dərəcə, oksigen, buxar və ya dopant atmosferi kimi reaktiv qazlar kimi temperaturlara da məruz qalır. Bu temperaturda, struktur bütövlüyü materialın təmizliyindən asılı olacaqdır.

SIC keramika paddlesinin digər vacib bir xüsusiyyəti, onların yüksək temperaturda üstün performansdır. 2700 + c SIC-in ərimə nöqtəsinə görə, avarçəkənlər yüksək teymə məruz qaldıqda güc və mexaniki sabitliyi saxlayır

zamanla postures. İstilik mülkiyyəti, istehsal mühitində uzun bir xidmət həyatı təmin edərkən təkrar istilik və soyutma dövrləri zamanı materialın çarpması və çatlaması məhdudlaşdırır.

Yarımkeçiricilərin emalı, hətta izlərin miqdarı hətta trackues-in qurğuların və davranışlarına təsir göstərə biləcəyi üçün ultra təmiz bir mühit tələb edir. Paddlesdə istifadə olunan SIC material, metal çirklənməni minimuma endirərkən olduqca yüksək material təmizliyini təbliğ edən kimyəvi cəhətdən (CVD) əmələ gətirən sic örtüklü bir sic örtük var. SIC keramika avarası bütün ömrü boyu təmiz və sabit qalır. Cantilever dəstəklədikcə, paddles, ocaqdan çıxarılması və sobadan çıxarılması zamanı vafli daşıyıcı və ya qayıqlar üçün etibarlı bir dəstək təmin etməlidir. ÜzündənSisXarici güc və sərtlik, düzgün vaffer rəftar və hizalanma üçün vacib olan minimal defeksiya ilə yaxşı yük daşıyan xüsusiyyətlərə malikdirlər. Oksidləşmə və diffuziya sobalarında, aşındırıcı atmosfer zamanla ənənəvi materialları hücum edə və pisləşdirə bilər, amma SIC, yastığın istifadə olunan həyatını genişləndirərək kimyəvi sabitliyini qorumaq qabiliyyətinə malikdir. Bu, paddllilərin tez-tez dəyişdirilməli və ya təmir edilməsi lazım olmadığı üçün bu, kəskin şəkildə azaldılmış və dəyişdirmə xərcləri ilə nəticələnir.

Performansdan əlavə, xüsusi avadanlıq və proseslər üçün avarçəkənləri düzəltməkdə rahatlıq var. Fırın dizaynı və hər hansı digər vafli işləmə sistemi arasındakı uyğunluğu təmin etmək üçün ölçülər, tolerantlıq və səth finalı çevik edilə bilər. Keramikin dəqiq işlənməsi ilə yüksək ölçülü dəqiqlik dərəcəsi əldə etmək bacarığı, həmçinin mürəkkəb həndələrə cavab vermək üçün yastıqların istehsal edilməsinə imkan verəcəkdir. Bu bütün xüsusiyyətlər, mövcud istehsal xətlərinə asanlıqla aramsız əməliyyat və asan inteqrasiyanı təmin etmək üçün nəzərdə tutulmuşdur.

Sic keramikPerformansdan əlavə, xüsusi avadanlıq və proseslər üçün avarçəkənləri düzəltməkdə rahatlıq var. Fırın dizaynı və hər hansı digər vafli işləmə sistemi arasındakı uyğunluğu təmin etmək üçün ölçülər, tolerantlıq və səth finalı çevik edilə bilər. Keramikin dəqiq işlənməsi ilə yüksək ölçülü dəqiqlik dərəcəsi əldə etmək bacarığı, həmçinin mürəkkəb həndələrə cavab vermək üçün yastıqların istehsal edilməsinə imkan verəcəkdir. Bu bütün xüsusiyyətlər, mövcud istehsal xətlərinə asanlıqla aramsız əməliyyat və asan inteqrasiyanı təmin etmək üçün nəzərdə tutulmuşdur.