Semicorex tərəfindən AlN Qızdırıcı silikon vafliləri dəstəkləmək və qızdırmaq üçün nəzərdə tutulmuşdur. Yüksək təmizlikli alüminium nitriddən (AlN) hazırlanmış bu qızdırıcı müxtəlif yüksək dəqiqlikli tətbiqlərin, xüsusən də yarımkeçirici sənayenin ehtiyaclarına cavab verən bir sıra qabaqcıl funksiyalar təklif edir.**
Əməliyyat mühitlərində çox yönlülük
AlN Qızdırıcısının əsas xüsusiyyətlərindən biri həm atmosfer, həm də vakuum şəraiti daxil olmaqla, müxtəlif iş mühitlərində səmərəli işləmək qabiliyyətidir. 1000°C-ə (1832°F) qədər uzanan təsirli əməliyyat temperaturu diapazonu ilə o, bortda sürətli və vahid isitmə təmin edir. Bu çox yönlülük onu yarımkeçirici istehsal cihazlarından tutmuş vakuum buxarlandırma sistemlərinə, püskürtmə maşınlarına və kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) cihazlarına qədər bir çox tətbiqlər üçün uyğun edir.
Sinterləmə prosesi ilə dəqiq mühəndislik
AlN Qızdırıcısının istehsal prosesi adi təzyiqsiz sinterləmə ilə müqayisədə əhəmiyyətli dərəcədə daha çətin proses olan vakuumla isti presləməni əhatə edir. Bu mürəkkəb texnika qızdırıcının alüminium nitridin saflığının əla 99,5%-ə çatmasını təmin edir. Bu cür ciddi istehsal standartlarını tətbiq etməklə Semicorex hər bir AlN Qızdırıcısının müstəsna mexaniki və istilik xüsusiyyətlərinə malik olmasına zəmanət verir və hətta ən tələbkar şərtlərdə belə etibarlı performans təmin edir.
Müstəsna istilik keçiriciliyi
AlN Qızdırıcının diqqətəlayiq xüsusiyyəti onun 180 Vt/m*K-dən çox olan yüksək istilik keçiriciliyidir. Bu yüksək istilik keçiriciliyi bir çox yüksək dəqiqlikli tətbiqlər üçün kritik amil olan geniş temperatur diapazonunda əla istilik vahidliyinə nail olmaqda mühüm rol oynayır. Qızdırıcı 2000 Vt/in²-ə (310 Vt/sm²) qədər enerji ötürə bilən, səmərəli və vahid istilik paylanmasını təmin edən çoxqatlı konstruksiya ilə hazırlana bilər. Bu qabiliyyət xüsusilə temperaturun dəqiq tənzimlənməsinin vacib olduğu yarımkeçiricilərin emalında qiymətlidir.
Üstün Korroziyaya Müqavimət
İstilik xüsusiyyətlərinə əlavə olaraq, AlN Qızdırıcısı üstün korroziya müqavimətinə malikdir. O, halogen qazlara və oksidləşdirici mühitlərə qarşı yüksək dayanıqlıdır və eyni zamanda əksər turşu və qələvi məhlullara qarşı möhkəm müqavimət nümayiş etdirir. Bu müqavimət hətta korroziyalı maddələrə məruz qalmanın daimi narahatlıq doğurduğu mühitlərdə belə uzunmüddətli dayanıqlığı və əməliyyat sabitliyini təmin edir. Belə davamlılıq tez-tez dəyişdirmə ehtiyacını azaldır və bununla da texniki xidmət xərclərini azaldır və ümumi sistemin etibarlılığını artırır.
Yüksək Texnologiyalı Sənayelər üzrə Tətbiqlər
Semicorex tərəfindən AlN Heater qabaqcıl atributlarına görə müxtəlif yüksək texnologiyalı sənayelərdə əvəzolunmazdır:
Yarımkeçirici İstehsal: Qızdırıcının vahid qızdırması və dəqiq nəzarəti onu yarımkeçirici emal avadanlıqlarında istifadə üçün ideal edir və yüksək keyfiyyətli vafli istehsalını təmin edir.
Vakuum Buxarlandırma Sistemləri: Vakuum mühitlərində yüksək temperaturda işləmə qabiliyyəti onu idarə olunan isitmənin vacib olduğu vakuum buxarlanma sistemləri üçün əla seçim edir.
Püskürtmə Maşınları: AlN Qızdırıcının istilik keçiriciliyi və korroziyaya qarşı müqaviməti substratların örtülməsi üçün istifadə olunan püskürtmə maşınlarının səmərəliliyini və xidmət müddətini artırır.
Kimyəvi Buxar Depoziti (CVD) Cihazları: Materialların kimyəvi reaksiyalar vasitəsilə substratlara çökdüyü CVD proseslərində qızdırıcının vahid temperatur paylanması ardıcıl və yüksək keyfiyyətli nazik təbəqələri təmin edir.
Təkmilləşdirilmiş Performans və Etibarlılıq
AlN Qızdırıcının dizaynı və material tərkibi onun təkmilləşdirilmiş performansına və etibarlılığına kömək edir. Alüminium nitridin təmizliyi, ciddi sinterləmə prosesi ilə birləşərək, nəinki olduqca yaxşı performans göstərən, həm də uzun müddət ərzində bütövlüyünü qoruyan qızdırıcı ilə nəticələnir. Bu etibarlılıq, avadanlığın nasazlığının əhəmiyyətli fasilələrə və maliyyə itkilərinə səbəb ola biləcəyi yüksək riskli mühitlərdə çox vacibdir.
Özelleştirilebilir Dizayn
Fərqli tətbiqlərin unikal tələbləri olduğunu başa düşən Semicorex AlN Qızdırıcısı üçün fərdiləşdirilə bilən dizayn variantlarını təklif edir. İstər qızdırıcının ölçüsünü, formasını və ya gücünü tənzimləməkdən asılı olmayaraq, bizim mütəxəssis komandamız xüsusi ehtiyaclara cavab verən fərdi həllər hazırlamaq üçün müştərilərlə sıx əməkdaşlıq edir. Bu fərdiləşdirmə səviyyəsi AlN Qızdırıcısının mövcud sistemlərə qüsursuz şəkildə inteqrasiyasını təmin edərək ümumi səmərəliliyi və performansı artırır.