8 düymlük vafferçəkən üzüklər

SemikoreX 8 düymlük vafferli üzüklər, silikon boşaltmanı mühüm istilik, etching və çökmə prosesləri ilə təhlükəsiz şəkildə təmin etmək və dəstəkləmək üçün nəzərdə tutulmuş qabaqcıl yarımkeçirici emalı avadanlığıdır. Sıx bir yüksək keyfiyyətli qrafitdən tikilmişdirSilikon karbidinin örtülməsi (SIC)Əlavə gücü üçün, vafli sahibi üzük, CVD (kimyəvi buxar depoziti), pecvd və epitaxy sistemləri kimi yüksək temperatur və aşındırıcı mühitlərdə istifadə üçün ideal olan üstün istilik sabitliyi, kimyəvi müqavimət və mexaniki güc verir.

Əsas xüsusiyyətlər:

Maddi Tərkibi:

Substrat materialıdırYüksək təmizlik qrafiti, yüksək istilik keçiriciliyi və struktur homojenlik üçün seçilmişdir. Yüksək sıxlıq və formasilikon karbid (SIC) film örtüyü1000 ° C-dən çox olan yüksək temperaturda hətta yüksək temperaturda oksidləşmə və kimyəvi hücuma yüksək müqavimət göstərən səthə tətbiq olunur. Qarışığın uzun müddətli bir rəf həyatı və genişlənənlərin çirklənməsi riski var.

Təhlükəsiz vafli yerləşdirmə

Xüsusilə 8 düymlük (200 mm) gofreti tutmaq üçün hazırlanmış, vafli ring dəqiq tolerans və optimal şəkildə hazırlanmış daxili həndəsə, gofreti etibarlı şəkildə tutur. Üzük, hissəciklərin yaradılması və ya vuletinin qırılmasına səbəb ola biləcək mikro hərəkəti minimuma endirən istilik velosipe və qaz axını zamanı sabit qalır.

Termal vahidliyi:

Qrafit substratının və SIC örtüyünün sabitliyinin xasiyyətli istilik keçiriciliyi, gofret səthi üzərində ardıcıl istilik köçürməsini təmin edir. Bu, ardıcıl proses nəticələrində nəticələr, azaldılmış istilik stressi və daha yaxşı cihaz məhsuldarlığı.

Kimyəvi və plazma müqavimət:

SIC Səthi, qrafit nüvəsini təkrar emal dövrləri dövrlərinə qarşı müqavimət göstərən sərt proses plazmalarından və qazlardan qoruyur. Kimyəvi inertlilik xüsusilə korroziv halogen tərkibində ehtivant və ya reaktiv qaz mühitində faydalıdır.

Mövcud özelleştirme:

8 düymlük vaffergər üzükləri xüsusi avadanlıq və ya proses tələblərinə cavab vermək üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdır Dizaynerlərimiz hər istifadə üçün mümkün olan ən yüksək performans təmin etmək üçün Oemlər və Fablarla işləyirlər.

Proqramlar:

• LPCVD / PECVD / APCVD
• Epitaxial böyümə prosesləri
• Diffuziya sobaları
• Yüksək temperaturlu yuma
• Digər yarımkeçirici istilik emalı sistemləri

Hər 8 düymlük vafferli üzüklər ölçülü dəqiqlik yoxlanılması, örtüklü yapışma testi və istilik velosiped kvalifikasiyası kimi ciddi yoxlama keçir. Qabaqcıl istehsal texnologiyamız yarımkeçirici sənayesinin yüksək tələbatını yerinə yetirmək üçün vahid SIC örtüklü qalınlığını və ən yaxşı səthini təmin edir.

Semikorex 8 düymlük boşaltıcı halqalar (sic-örtüklü qrafit), mexaniki dəqiqlik, materialın davamlılığı və kimyəvi sabitliyi təmin edən növbəti nəsil yarımkeçirici istehsalı üçün zəruri avadanlıqdır. Proses avadanlıqlarından sonrakı nəsil vaffer platformalarının inşasına yüksəltmələrdən bu məhsul bugünkü tələb olunan istehsal mühitini aktivləşdirmək üçün lazım olan etibarlılıq və performans təklif edir.