> Məhsullar > Silikon karbid keramika > Vafli qayıq > Yarımkeçirici proses üçün vafli qayıq

Məhsullar

yeni məhsullar

Yarımkeçirici proses üçün vafli qayıq

Semicorex həm şaquli / sütun, həm də üfüqi konfiqurasiyalar üçün vafli qayıqlar, postamentlər və xüsusi vafli daşıyıcıları təmin edir. Biz uzun illər silisium karbid örtük filminin istehsalçısı və təchizatçısıyıq. Yarımkeçirici proses üçün vafli qayıqımız yaxşı qiymət üstünlüyünə malikdir və Avropa və Amerika bazarlarının əksəriyyətini əhatə edir. Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

Yarımkeçirici proses üçün Semicorex SiC vafli qayıq, yarımkeçirici istehsalında vafli ilə işləmə və mühafizə üçün son həlldir. Yarımkeçirici proses üçün vafli qayıqımız korroziyaya yaxşı müqavimət göstərən və yüksək temperaturlara və termal şoka mükəmməl müqavimət göstərən yüksək keyfiyyətli silisium karbiddən hazırlanır. Qabaqcıl keramika yüksək tutumlu vafli daşıyıcılar üçün hissəcikləri və çirkləndiriciləri azaldaraq əla istilik müqaviməti və plazma davamlılığı təmin edir.

Yarımkeçirici proses üçün vafli qayığın parametrləri

Texniki xüsusiyyətlər
indeks	Vahid	Dəyər
Materialın adı		Reaksiya Sinterləşdirilmiş Silisium Karbid	Təzyiqsiz Sinterlənmiş Silikon Karbid	Yenidən kristallaşdırılmış silisium karbid
Tərkibi		RBSiC	SSiC	R-SiC
Kütləvi sıxlıq	q/sm3	3	3,15 ± 0,03	2.60-2.70
Bükülmə Gücü	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Təzyiq gücü	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Sərtlik	Knoop	2700	2800	/
Dözümlülük	MPa m1/2	4.5	4	/
İstilikkeçirmə	W/m.k	95	120	23
İstilik genişlənmə əmsalı	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Xüsusi İstilik	Joule/q 0k	0.8	0.67	/
Havada maksimum temperatur	℃	1200	1500	1600
Elastik modul	Gpa	360	410	240

Yarımkeçirici Proses üçün Gofret Qayığının Xüsusiyyətləri

Üstün istilik müqaviməti və istilik vahidliyi
Hamar bir səth üçün incə SiC kristalla örtülmüşdür
Kimyəvi təmizləməyə qarşı yüksək davamlılıq
Material çatlar və delaminasiyaların baş verməməsi üçün nəzərdə tutulmuşdur.