Vakuum chucks

Semikorex vakuum chucks, yarımkeçirici istehsal proseslərində təhlükəsiz, sabit və səmərəli işləmə təmin etmək üçün hazırlanmış dəqiq mühəndis həllərdir. Bu vakuum chucks əsasən müxtəlif emal mərhələləri zamanı boşalma, boşalma, maksimum sabitlik və inkişaf etmiş proses səmərəliliyinə minimal ziyan vermək üçün istifadə olunur. Vakuum çaklarımız müxtəlif baza materialları və keramika plitələrində mövcuddur, yarımkeçirici sənayesinin və digər dəqiq sahələrin müxtəlif ehtiyaclarını ödəmək üçün xüsusi həllər təklif edir.

Əsas xüsusiyyətlər və materiallar

Semicorex, vakuum Chuck üçün bir sıra baza material variantlarını təklif edir, xüsusi tətbiq tələblərinə əsaslanaraq özelleştirme tətbiq edir:

Əsas materiallar:

• SUS430: Güc və korroziya müqaviməti ilə tanınan paslanmayan polad baza materialı, əla mexaniki sabitlik təmin edir.
• Alüminium Alaşımlı 6061: Yüngül, lakin güclüdür, bu alüminium bazası yüksək korroziyaya davamlılığı təklif edir və çəkiin bir narahatlıq olduğu tətbiqlər üçün idealdır.
• Alümina keramika (99% alüminiina): yüksək istilik sabitliyi və aşınma müqavimətini təklif edir. Termal müqavimətinin kritik olduğu yüksək dəqiqlikli mühit üçün əla seçimdir.
• Qranit: Sərtliyi və üstün vibrasiya-nəmləndirici xüsusiyyətləri ilə tanınan qranit, gofret işləmə zamanı əla sabitlik və dəqiqlik təklif edir.
• Silikon Karbide (SIC) Seramik: Yüksək sərtlik, istilik keçiriciliyi və kimyəvi korroziyaya qarşı müqavimət təklif edir. Yüksək temperatur və aqressiv mühit üçün idealdır.

Seramik plitələr:

Alümina (Aloo₃): Alüminion plitələri yüksək elektrik izolyasiya xüsusiyyətləri, aşınma müqaviməti və yüksək temperatur sabitliyi ilə tanınır. Minimum çirklənmə və yüksək performansın vacib olduğu mühit üçün uygundur.

Silikon Carbide (SIC): SIC keramika plitələri, yüksək temperaturda, yüksək temperaturda, yüksək istilik keçiricilik və sabitliyi təmin edir, onları yarımkeçirici istehsalda qabaqcıl vafli işləmə prosesləri üçün ideal hala gətirir.

Düzgünlük dəqiq və material seçimi

Chuckun səthinin düzlüyü, düzgün vaffer rəftarının və optimal proses nəticələrini təmin etməkdə vacib bir amildir. Maddi seçim, düzlük dəqiqliyinə, eləcə də vakuum çakının ümumi çəkisi və istilik xüsusiyyətlərinə təsir göstərir.

Düzgünlük dəqiqliyi:

Alüminium Alaşımlı 6061: Dəqiqliklə əla düzlük təmin edir, onu daha az tələb edən vafli işləmə vəzifələri üçün məşhur bir seçim halına gətirir.

SUS430: Qatı mexaniki sabitlik təklif edərkən, SUS430 alüminium ərintisindən daha bir az aşağı düzlük dəqiqliyi var.

Alüminion keramika (99% alumina): Yüksək temperatur və mexaniki stres altında yüksək ölçülü sabitliyinə görə ən yaxşı düzlük dəqiqliyi təklif edir.

Qranit: Sabitliyi ilə tanınan qranit, xüsusən vibrasiya-həssas mühitlərdə dəqiq düzlük təmin edir.

Silikon Carbide Ceramic: Görkəmli düzlük dəqiqliyi təmin edir və yüksək temperaturlu tətbiqlərdə yüksək dəqiqlikli vaffer üçün idealdır.

Çəki mülahizələri

Vakuum Chuck'ın çəkisi, xüsusən Chuck-in işləmə və manipulyasiya asanlığı olan tətbiqlər üçün başqa bir vacib amildir.