Tantal karbid örtüklü bələdçi üzüklər

Bələdçi üzüklər adətən istilik sahəsi sistemində qrafit potasının üstündə quraşdırılır. Onlar istilik və texnoloji qazların paylanmasını istiqamətləndirmək və idarə etmək üçün tige, qızdırıcı və istilik izolyasiya silindri və digər yarımkeçirici komponentlərlə birlikdə işləyirlər.

AüstünlükləriTantal karbid örtük

nin üstün performansı ilə tanınırTaC örtüyüüçüncü nəsil yarımkeçirici tək kristal artım tətbiqlərində tantal karbid örtüyü aşağıdakı üstünlükləri təklif edir:

1. Müstəsna istilik sabitliyi

Tantal karbid 3880 ℃ ultra yüksək ərimə nöqtəsi ilə əla istilik müqavimətinə malikdir. Bu müstəsna istilik sabitliyinə malik olan Semicorex tantal karbidlə örtülmüş bələdçi üzükləri 2500 ℃-dən aşağı olan yüksək temperaturlu mühitlərdə sabit şəkildə istifadə edilə bilər. Bundan əlavə, bu iki materialın birləşməsi temperaturun dəyişməsi nəticəsində yaranan örtüyün çatlaması və soyulması risklərini minimuma endirir ki, bu da təkrar isitmə və soyutma prosesləri zamanı komponentin struktur bütövlüyünü əhəmiyyətli dərəcədə təmin edir.

2. Əla korroziyaya davamlılıq

Tantal karbid əla korroziyaya və oksidləşmə müqavimətinə malikdir və ammonyak, hidrogen və silisium kimi reaktiv qazların əksəriyyətinə kimyəvi cəhətdən təsirsizdir. Bu kimyəvi sabitliyə görə, Semicorex tantal karbidlə örtülmüş bələdçi üzüklər reaktiv qazların matrisi aşındırmasının və struktur bütövlüyünün zədələnməsinin qarşısını effektiv şəkildə alır, eyni zamanda kristal quruluşa daxil olan reaktivlərdən və çirklərdən çirklənmə riskinin qarşısını alır.

Semicorex Tantal Karbid ilə örtülmüş bələdçi üzüklərin performansı

Semicorextantal karbid örtüklü bələdçi üzüklərmatris kimi yüksək təmizlikli qrafitdən istifadə edin və CVD texnologiyası vasitəsilə TaC örtüyünü səthə qoyun. Bu iki materialın birləşməsi Semicorex tantal karbid örtüklü bələdçi üzüklərə aşağıdakı üstünlükləri təmin etməyə imkan verir:

1.Qaz axınının istiqamətləndirilməsi və axın sahəsinin optimallaşdırılması

Kristal böyüməsi zamanı bələdçi halqaların istifadəsi istilik sahəsi daxilində axının paylanmasını optimallaşdırmağa kömək edir və reaktiv qazları idarə olunan axın istiqamətinə və vahid paylanmaya yönəldir. Xüsusi struktur dizaynı sayəsində Semicorex tantal karbidlə örtülmüş bələdçi üzükləri qazın axmasına və bərabər paylanmasına istiqamət verə bilər ki, bu da həddindən artıq yüksək və ya aşağı yerli qaz konsentrasiyalarının qarşısını effektiv şəkildə alır.

2.Temperaturun Tənzimlənməsi və İstilik Sahəsinin Optimizasiyası

Semicorex tantal karbidlə örtülmüş bələdçi üzüklər üstün istilik keçiriciliyi nümayiş etdirir, temperaturun paylanmasını tənzimləməkdə mühüm rol oynayır və kristal inkişafı üçün sabit temperatur sahəsini təmin edir. Məsələn, Semicorex tantal karbidlə örtülmüş bələdçi üzüklər, silisium karbid kristallarının PVT böyüməsində temperatur qradiyentini saxlamağa kömək edə bilər, materialların uyğun şəraitdə parçalanmasını, daşınmasını və kristallaşmasına zəmanət verir.