Üçləçəkli Qrafit Pota

Semicorex Üçləçəkli Qrafit Krujka (həmçinin üçhissəli və ya seqmentli qrafit tige kimi tanınır) qabaqcıl yarımkeçirici materialların istilik emalında əhəmiyyətli mühəndislik irəliləyişini təmsil edir. Ultra yüksək təmizlikli izostatik qrafitdən dəqiqliklə işlənmiş bu ixtisaslaşdırılmış gəmi, xüsusilə Fiziki Buxar Nəqliyyatı (PVT) və monokristal silisium istehsalı vasitəsilə Silikon Karbid (SiC) sublimasiyası üçün yeni nəsil kristal böyüməsinin həddindən artıq istilik və kimyəvi mühitlərinə tab gətirmək üçün diqqətlə hazırlanmışdır.

Ənənəvi bir hissəli monolit tigelərdən fərqli olaraq, innovativ üçləçəkli seqmentli arxitektura üstün mexaniki relyef təmin edir, bu da tigenin böyüyən kristal matrisi çatlamadan və ya gərginləşdirmədən sürətli termal dövrlər altında bərabər şəkildə genişlənməsinə və büzülməsinə imkan verir.

Əsas Məhsul Üstünlükləri və Mühəndislik Mükəmməlliyi

1. Stresdən Çıxaran Üçləçəkli Memarlıq

Üç seqmentli split dizayn ümumi sənaye problemini həll etmək üçün hazırlanmışdır:termal genişlənmə uyğunsuzluğu. Yarımkeçirici kristallaşmanın həddindən artıq qızdırma və soyutma fazaları zamanı monolit tigelər tez-tez struktur deformasiyasına və ya vaxtından əvvəl sıradan çıxmasına səbəb olan lokal gərginliyə məruz qalırlar. Bir-birinə bağlanan üç ləçəkli struktur nəzarət edilən mikroskopik əyilmə təklif edir, termal gərginliyi əhəmiyyətli dərəcədə azaldır, tige çatlama riskini aradan qaldırır və komponentin istismar müddətini uzadır.

2. Ultra Yüksək Təmizlik Karbon Substratı

Çirklənmə yüksək məhsuldar yarımkeçirici artımının əsas düşmənidir. Üç ləçəkli tigelərimiz külü azaltmaq və metal miqdarını azaltmaq üçün ciddi kimyəvi və termal təmizləmə proseslərindən keçir.5 ppm-dən azdır. Bu, soba daxilində son dərəcə təmiz bir mühit təmin edir, uçucu çirklərin ərimə və ya buxar fazasına yayılmasının qarşısını alır və son vafli çipinin elektrik bütövlüyünü qoruyur.

3. İstisna Termal Profil vahidliyi

Qüsursuz bir kristal quruluşa nail olmaq istilik gradientlərinə dəqiq nəzarət tələb edir. Seçdiyimiz izostatik qrafitin yüksək istilik keçiriciliyi hər üç seqmentdə sürətli, vahid istilik ötürülməsinə zəmanət verir. Bu vahid istilik profili lokallaşdırılmış "qaynar nöqtələri" aradan qaldırır, mükəmməl düz bərkimə cəbhəsini təşviq edir və böyüyən kristal külçədəki dislokasiyalar kimi qüsurları minimuma endirir.

4. Qabaqcıl Səth Kaplamaları (İstəyə görə)

Yüksək korroziyalı mühitlərdə temperaturun 2000 ℃-dən çox olduğu SiC kristallarının çəkilməsinin yorucu tələblərini ödəmək üçün bu tigelər ixtisaslaşdırılmış vasitələrlə gücləndirilə bilər.Tantal karbid (TaC)və yaSilikon karbid (SiC)kimyəvi buxar çökmə (CVD) örtükləri. Bu qoruyucu maneə reaktiv qaz eroziyasına qarşı misilsiz müqavimət göstərir və karbon qazının çıxarılmasının qarşısını alır.

İlkin Tətbiqlər

Üç ləçəkli Qrafit Cruciblelərimiz qabaqcıl sənaye isti zonalarında geniş şəkildə tətbiq olunur:

Silikon karbid (SiC)Crystal Growth: Elektrikli nəqliyyat vasitələrində (EV) və yaşıl enerji şəbəkələrində istifadə olunan geniş diapazonlu güc elektronikası üçün vacibdir.

Czochralski (CZ) və PVT Metodları: Yüksək temperaturlu induksiya və ya müqavimət sobaları içərisində yüksək möhkəmlikli xarici dayaq qabığı və ya birbaşa saxlama qabı kimi idealdır.

Mürəkkəb Yarımkeçirici Sintezi: Növbəti nəsil substrat materiallarının yüksək saflıqda emalı üçün uyğundur.

Yarımkeçiricilər sənayesi üçün qabaqcıl material həllərinin aparıcı təchizatçısı olaraq, istehsal proseslərimiz tam avtomatlaşdırılmış sistemlər vasitəsilə ciddi şəkildə idarə olunur. Hər Üçləçəkli Qrafit Crucible ciddi qeyri-dağıdıcı sınaqdan, dəqiq koordinat ölçmə yoxlamalarından və ciddi təmizlik yoxlamasından keçir. Yarımkeçirici fablara məhsuldarlığı artırmaq, dayanma müddətini azaltmaq və ümumi sahiblik xərclərini azaltmaq imkanı verən proqnozlaşdırıla bilən, yüksək təkrarlanan istilik performansını təqdim edirik.