Bərk silisium karbid qanadları

Semicorex bərksilisium karbid qanadlarıadətən RTP yuyucu sobalar və diffuziya sobaları kimi yarımkeçirici istilik müalicəsi avadanlığının şaquli soba borularının içərisində istilik izolyasiya komponentləri kimi quraşdırılır. Semicorex bərk silisium karbid qanadları yüksək temperaturlu sobalarda temperatur paylanmasını effektiv şəkildə tənzimləyə və yüksək temperaturun səbəb olduğu emal qapılarının möhürləyici hissələrinə istilik zərərini minimuma endirə bilər. Yaş oksidləşmə iş şəraitində Semicorex bərk silisium karbid qanadları nisbətən aşağı proses temperaturlarında su buxarının kondensasiyası nəticəsində proses nəticələrinə və yarımkeçirici cihazlara mənfi təsirlərin qarşısını effektiv şəkildə almaq üçün istifadə edilə bilər.

Semicorex bərk silisium karbid qanadlarının üstünlükləri

1. Əla aşınma müqaviməti

CVD SiC müstəsna sərtliyi ilə yalnız almazdan sonra ikinci olan polikristal kub kristal quruluşa malikdir. Semicorex bərk silisium karbid qanadlarının əla aşınma müqaviməti bu xassə ilə əlaqədardır ki, bu da onları işləmə və dəyişdirmə zamanı aşınmaya davamlı edir.

2. Üstün istilik idarəetmə qabiliyyəti

CVD SiC, təxminən 2000°C-ə qədər olan temperaturlarda əriməyən və yumşalmayan və ultra yüksək temperaturlu sublimasiyadan əvvəl sabitliyini qoruyan əla istilik müqaviməti və yüksək temperaturda sabitlik təmin edir. Bu üstün istilik xüsusiyyətləri sayəsində, Semicorex bərk silisium karbid qanadları çətin yarımkeçirici istilik müalicəsi emal şərtləri üçün olduqca uyğundur.

3. Ultra yüksək təmizlik

CVD-SiCçökmə prosesində sinterləşdirici əlavələr olmadan istehsal olunur. Adi reaksiya ilə bağlanmış silisium karbidlə müqayisədə, 99,9995%-dən çox yüksək təmizliyə malikdir. Bu, qabaqcıl yarımkeçirici istehsalının təmizlik tələblərini mükəmməl şəkildə qarşılayaraq, texnoloji mühitlərdə yüksək temperaturun səbəb olduğu Semicorex bərk silisium karbid qanadlarının metal çirkləri ilə çirklənməsinin qarşısını effektiv şəkildə alır.

4. Etibarlı korroziyaya davamlılıq

Semicorex bərk silisium karbid qanadları yüksək temperaturda CVD SiC-nin müstəsna kimyəvi təsirsizliyi sayəsində yarımkeçiricilərin istilik müalicəsi proseslərində istifadə olunan yüksək oksidləşdirici və güclü turşulu proses qazlarına tab gətirə bilir. Bu etibarlı korroziya müqaviməti onların xidmət müddətini effektiv şəkildə uzadır, komponentlərin dəyişdirilməsi xərclərini azaldır.

5. Dəqiq emal dəqiqliyi

Müxtəlif soba boruları ilə uyğunluğu təmin etmək üçün Semicorex bərk silisium karbid qanadlarını diametri, qalınlığı, çuxur ölçüsü, düzlük və ölçülü toleranslar üçün müştəri tələblərinə uyğun olaraq fərdiləşdirə bilər. Bu yüksək standartlı emal dəqiqliyi avadanlıqdakı qanadların sabit işləməsinə zəmanət verir və yarımkeçiricilərin istilik müalicəsi tətbiqlərinin ümumi səmərəliliyini optimallaşdırmağa kömək edir.