CVD-SiC duş başlığı

Semicorex CVD-SiC duş başlığı davamlılığı, mükəmməl istilik idarəetməsini və kimyəvi deqradasiyaya qarşı müqaviməti təmin edir, bu da onu yarımkeçirici sənayesində tələbkar CVD prosesləri üçün uyğun seçim edir. Semicorex rəqabətədavamlı qiymətlərlə keyfiyyətli məhsullar təqdim etməyə sadiqdir, biz sizin Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

CVD duş başlığı kontekstində CVD-SiC duş başlığı adətən CVD prosesi zamanı prekursor qazları substratın səthinə bərabər paylamaq üçün nəzərdə tutulub. Duş başlığı adətən substratın üstündə yerləşdirilir və prekursor qazları onun səthindəki kiçik deşiklər və ya burunlardan axır.

Duş başlığında istifadə olunan CVD-SiC materialı bir sıra üstünlüklər təqdim edir. Onun yüksək istilik keçiriciliyi CVD prosesi zamanı əmələ gələn istiliyi yaymağa kömək edir, substratda temperaturun vahid paylanmasını təmin edir. Bundan əlavə, SiC-nin kimyəvi sabitliyi ona CVD proseslərində tez-tez rast gəlinən aşındırıcı qazlara və sərt mühitlərə tab gətirməyə imkan verir.

CVD-SiC duş başlığının dizaynı xüsusi CVD sistemindən və proses tələblərindən asılı olaraq dəyişə bilər. Bununla belə, o, bir qayda olaraq, bir sıra dəqiqliklə qazılmış deşiklər və ya yuvaları olan bir boşqab və ya disk formalı komponentdən ibarətdir. Dəlik nümunəsi və həndəsə, substrat səthində vahid qaz paylanması və axın sürətini təmin etmək üçün diqqətlə hazırlanmışdır.