Bərk CVD SiC üzükləri

Semicorex bərkCVD SiChalqalar adətən proses maneəsi və enerji bələdçisi kimi xidmət etmək üçün elektrostatik çəngəlləri əhatə edən aşındırma avadanlığının reaksiya kameralarının içərisinə quraşdırılır. Onlar plazmanı vafli ətrafında kamerada cəmləşdirə və plazmanın xaricə yayılmasının qarşısını ala bilər, beləliklə, dəqiq aşındırma prosesi üçün uyğun enerji sahəsi təmin edir. Bu vahid və sabit enerji sahəsi vaflinin kənarında qeyri-bərabər enerji paylanması və plazma təhrifinin səbəb olduğu vafli qüsurları, prosesin sürüşməsi və yarımkeçirici qurğunun məhsuldarlığı kimi riskləri effektiv şəkildə azalda bilər.

Əla material üstünlükləri

Semicorex bərk CVD SiC üzükləri yüksək təmizlikli CVD SiC-dən hazırlanır və yarımkeçirici aşındırma mühitlərində yüksək təmizlik və yüksək korroziyaya davamlılıq üçün ciddi tələblərə tam cavab vermək üçün əla material üstünlükləri təklif edir.

1. Yüksək təmizlik

Semicorex bərk CVD SiC halqalarının təmizliyi 99,9999%-i keçə bilər, bu o deməkdir ki, üzüklər demək olar ki, daxili çirklərdən azaddır. Bu müstəsna material təmizliyi yarımkeçirici vaflilərin və texnoloji kameraların yarımkeçiricilərin aşındırılması prosesləri zamanı çirklənmədən istənməyən çirklənməsinin qarşısını alır.

2. Yüksək korroziyaya davamlılıq

Semicorexbərk CVD SiC üzükləriCVD SiC-nin üstün korroziyaya davamlılığına görə güclü turşulara, qələvilərə və plazmaya məruz qaldıqda belə struktur bütövlüyünü və performans sabitliyini qoruya bilir və onları sərt aşındırma emal mühitləri üçün ideal həllər edir.

3. Etibarlı istilik idarəetmə performansı

CVD SiC yüksək istilik keçiriciliyi və minimal istilik genişlənmə əmsalına malikdir, bu da Semicorex bərk CVD SiC halqalarını sürətli istilik yayılmasına nail olur və əməliyyat zamanı əla ölçü sabitliyini saxlayır.

4. Müstəsna müqavimət vahidliyi

Semicorex bərk CVD SiC halqaları RRG < 5% ilə müstəsna müqavimət vahidliyi təmin edir.

Müqavimət diapazonları: Aşağı Res. (<0,02 Ω·sm), Orta Res. (0,2–25 Ω·sm), Yüksək Res. (>100 Ω·sm).

Dəqiq keyfiyyətə nəzarət

Semicorex bərk CVD SiC üzükləri yarımkeçirici və mikroelektronika sahələrinin ciddi dəqiqlik və keyfiyyət tələblərinə tam cavab vermək üçün ciddi standartlara uyğun işlənir və yoxlanılır.

Səthin təmizlənməsi: Cilalama dəqiqliyi Ra < 0,1µm; incə üyütmə dəqiqliyi Ra > 0.1µm-dir

Emal dəqiqliyi ≤ 0,03 mm daxilində idarə olunur

Keyfiyyət yoxlaması: Semicorex bərk CVD SiC üzükləri məhsulun çiplərdən, cızıqlardan, çatlardan, ləkələrdən və digər qüsurlardan azad olmasını təmin etmək üçün ölçülü ölçü, müqavimət testi və vizual yoxlamadan keçəcək.