Semicorex SiSiC vafli qayıq yarımkeçiricinin mühüm komponentidir, CVD örtüklü yüksək təmizlikli Silikon Karbid keramikadan hazırlanır. Semicorex müştərilərin ehtiyaclarına əsaslanan ən uyğun həllər təklif edə bilər və bütün dünya üzrə tərəfdaşlar tərəfindən ixtisaslıdır.*
Yarımkeçiricilər və günəş batareyaları istehsalının rəqabətli mənzərəsində komponentlərin uzunömürlülüyü ilə ötürmə qabiliyyətini balanslaşdırmaq vacibdir. BizimSiSiC Wafer Boat yüksək temperaturlu soba əməliyyatları üçün "sənaye işçisi" olmaq üçün hazırlanmışdır. Reaksiya bağlama prosesindən istifadə edərək, biz ənənəvi kvars və standart keramika ilə müqayisədə üstün mexaniki möhkəmlik və termal zərbəyə davamlılıq təklif edən daşıyıcı təqdim edirik.
Yüksək təzyiqli toz birləşməsindən əmələ gələn sinterlənmiş SiC-dən fərqli olaraq,SiSiC vafli qayıq məsaməli karbon preformunu ərimiş silikonla sızdırmaqla istehsal olunur. Bu "Reaksiya Bağlanması" prosesi istehsal zamanı demək olar ki, sıfır büzülmə ilə nəticələnən materialla nəticələnir və inanılmaz ölçülü dəqiqliklə mürəkkəb, irimiqyaslı qayıq arxitekturasının istehsalına imkan verir.
Partiya emalında ən kritik problemlərdən biri sobanın sürətli "push-pull" dövrüdür. Kvars daşıyıcıları tez-tez termal stress altında çatlayır. SiSiC əhəmiyyətli dərəcədə daha yüksək qırılma moduluna (MOR) və əla istilik keçiriciliyinə malikdir. Bu, qayıqlarımıza struktur nasazlığı riski olmadan sürətli temperatur artımına tab gətirməyə imkan verir ki, bu da avadanlığın daha az dayanmasına gətirib çıxarır.
Ötürmə qabiliyyətini artırmaq üçün vafli ölçüləri artdıqca və partiyalar böyüdükcə daşıyıcının çəkisi artır. SiSiC qayıqlarımız müstəsna sürünmə müqaviməti nümayiş etdirir. Digər materiallar 1250°C-də ağır yüklər altında əyilə və ya əyilə bilsə də, SiSiC öz həndəsəsini qoruyub saxlayır və vafli yuva paralelliyinin minlərlə dövr ərzində mükəmməl qalmasını təmin edir.
SiSiC qayıqlarımız sərt kimyəvi mühitlər üçün nəzərdə tutulub. Material LPCVD və Diffuziya proseslərində istifadə olunan aşındırıcı qazlara təbii olaraq davamlıdır. Bundan əlavə, səth "sərbəst silisium" miqrasiyasının olmaması üçün işlənir və vaflilərinizin elektrik bütövlüyünü qoruyan sabit, təmiz bir mühit təmin edir.
| Əmlak |
SiSiC (Reaksiya Bağlı) |
Ənənəvi Kvars |
Sənaye Faydaları |
| Maksimum İstifadə Temp |
1,350°C – 1,380°C |
~1,100°C |
Daha yüksək proses çevikliyi |
| İstilik keçiriciliyi |
> 150 Vt/m·K |
1,4 Vt/m·K |
Sürətli, vahid istilik |
| Elastik modul |
~330 GPa |
~70 GPa |
Ağır yüklər altında sallanma yoxdur |
| Məsaməlik |
< 0,1% |
0% |
Minimum qaz udulması |
| Sıxlıq |
3,02 - 3,10 q/sm³ |
2,20 q/sm³ |
Yüksək struktur sabitliyi |
SiSiC Wafer Boat, TEL (Tokyo Electron), ASM və Kokusai Electric daxil olmaqla, dünyanın aparıcı soba OEM-ləri ilə uyğun gəlir. Biz aşağıdakılar üçün fərdi həllər təqdim edirik:
Üfüqi diffuziya sobaları: 150 mm və 200 mm vafli üçün yüksək dəqiqlikli yivli uzun uzunluqlu qayıqlar.
Şaquli soba sistemləri: qaz axını və istilik vahidliyini optimallaşdıran aşağı kütləli dizaynlar.
Günəş PV Hüceyrəsinin istehsalı: Yüksək həcmli POCl3 diffuziyası üçün nəzərdə tutulmuş, kvarsdan 5-10 dəfə uzun xidmət müddəti təklif edən ixtisaslaşmış SiSiC daşıyıcıları.
Expert Insight: 1,380°C-dən çox olan proseslər üçün Sinterləşdirilmiş SiC xəttimizi tövsiyə edirik. Bununla belə, Diffuziya, Oksidləşmə və LPCVD addımlarının böyük əksəriyyəti üçün SiSiC sənayedə ən sərfəli performans-ömür nisbətini təmin edir.
Material ekspertizası: Reaksiya birləşmə prosesimiz üçün yalnız yüksək təmizlikdə alfa-SiC toz və elektron dərəcəli silikon əldə edirik.
Dəqiq Mühəndislik: Bizim CNC daşlama imkanlarımız vafli vibrasiyanı və qırılmanı azaldaraq, ±0,02 mm daxilində yuva toleranslarına imkan verir.
Davamlılıq və ROI: Kvarsdan SiSiC-ə keçidlə fablar adətən əhəmiyyətli dərəcədə azaldılmış dəyişdirmə tezliyi səbəbindən illik istehlak materiallarında 40% azalma görürlər.
Göndərdiyimiz hər bir qayıq Uyğunluq Sertifikatı (CoC) və tam ölçülü yoxlama hesabatı ilə müşayiət olunur ki, bu da proses dəstinizin dərhal təmiz otaqda quraşdırılmasına hazır olmasını təmin edir.