Silikon vafli daşıyıcı

Semicorex, yarımkeçirici sənayelərdə silisium karbid təbəqələrinə fokuslanan OEM yarımfabrikat alətləri və vafli işləmə komponentləri üçün yarımkeçirici dərəcəli keramika təmin edir. Biz uzun illərdir Silikon Gofret Daşıyıcısının istehsalçısı və təchizatçısıyıq. Silikon vafli daşıyıcımız yaxşı qiymət üstünlüyünə malikdir və Avropa və Amerika bazarlarının əksəriyyətini əhatə edir. Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.

Sorğu göndərin

Məhsul təsviri

Yarımkeçirici çökmə prosesləri yüksək keyfiyyətli nazik plyonkaları vaflilərə qatmaq üçün uçucu prekursor qazların, plazmanın və yüksək temperaturun birləşməsindən istifadə edir. Çökmə kameraları və vafli ilə işləmə alətləri bu çətin mühitlərə tab gətirmək üçün davamlı keramika komponentlərinə ehtiyac duyur.
Semicorex Silikon Gofret Daşıyıcısı yüksək korroziyaya və istiliyə davamlı xüsusiyyətlərə, eləcə də əla istilik keçiriciliyinə malik yüksək təmizlikli silisium karbiddir.

Silikon vafli daşıyıcının parametrləri

Texniki xüsusiyyətlər
indeks	Vahid	Dəyər
Materialın adı		Reaksiya Sinterləşdirilmiş Silisium Karbid	Təzyiqsiz Sinterlənmiş Silikon Karbid	Yenidən kristallaşdırılmış silisium karbid
Tərkibi		RBSiC	SSiC	R-SiC
Kütləvi sıxlıq	q/sm3	3	3,15 ± 0,03	2.60-2.70
Bükülmə Gücü	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Sıxılma Gücü	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Sərtlik	Düymə	2700	2800	/
Dözümlülük	MPa m1/2	4.5	4	/
İstilik keçiriciliyi	W/m.k	95	120	23
İstilik genişlənmə əmsalı	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Xüsusi İstilik	Joule/q 0k	0.8	0.67	/
Havada maksimum temperatur	℃	1200	1500	1600
Elastik modul	Gpa	360	410	240

SSiC və RBSiC arasındakı fərq:

1. Sinterləmə prosesi fərqlidir. RBSiC aşağı temperaturda sərbəst Si-ni silisium karbidinə sızdırmaqdır, SSiC 2100 dərəcədə təbii büzülmə nəticəsində əmələ gəlir.

2. SSiC daha hamar səthə, daha yüksək sıxlığa və daha yüksək gücə malikdir, daha ciddi səth tələbləri olan bəzi sızdırmazlıqlar üçün SSiC daha yaxşı olacaqdır.

3. Fərqli PH və temperatur altında fərqli istifadə müddəti, SSiC RBSiC-dən daha uzundur

Silikon vafli daşıyıcının xüsusiyyətləri

Yüksək təmizlik SiC örtüklü qrafit
Üstün istilik müqaviməti və istilik vahidliyi
Hamar bir səth üçün incə SiC kristalla örtülmüşdür
Kimyəvi təmizləməyə qarşı yüksək davamlılıq
Material çatlar və delaminasiya baş verməməsi üçün nəzərdə tutulmuşdur.

Silikon karbid keramikanın mövcud formaları:

● Keramika çubuq / keramika sancaq / keramika piston

● Keramika boru / keramika kol / keramika qol

● Seramik üzük / keramika yuyucusu / keramika aralayıcı

● Seramik disk

● Seramik boşqab / keramika bloku

● Keramika top

● Keramika porşen

● Keramika başlığı

● Keramika tige

● Digər sifarişli keramika hissələri