Silikon karbid vakuum çucu

Semikorex Silikon Carbide Vakuum Chuck, yüksək dəqiqlik və aşağı çirklənməyə ehtiyacı olan proseslər üçün yarımkeçirici istehsalın vacib bir hissəsidir. Vakuum chucks yüksək təmizli məsaməli silikon karbid keramikalarından uydurulur və əla mexaniki güc, istilik keçiricilik və kimyəvi inertleness, etibarlı vakuumun tutulması üçün dəqiq idarə olunan məsamə quruluşu verir. Silikon karbid vakuum chuck, elektrostatik təzyiq, elektrotatik təzyiq, elektrostatik adsorbsiya və ya mexaniki sıxma ilə təmin olunan bir silikon karbiddən (SIC) keramika materialından hazırlanmış, elektrostatik adsorbsiya və ya mexaniki sıxma və ya mexaniki sıxma ilə təchiz olunmuş bir funksional adsorbsiya cihazıdır. Vakuum Chucks yarımkeçiricilərdə, fotovoltaika, dəqiq istehsal və digər temperaturun yüksək temperatur müqavimətinə qarşı yüksək tələbat, müqavimət və təmizlik üçün çox tələb edən digər tətbiqlərdə istifadə edir.

BazasıçəngəSəthi boyunca proqnozlaşdırılan bir hava peremançası olan məsaməli bir simli materialdır. Bu, mexaniki sıxma olmadan təhlükəsiz bir vober adsorb etmək və buna görə də nümunənin fiziki zərər və ya çirklənmə potensialını qeyri-maddi hala gətirmək mümkündür. Materialın məsaməsi möhkəm bir şəkildə idarə olunur - adətən məsaməsizliyi 35-40% -i olan, düzgün vakuum paylamasını təmin etmək, lakin davamlı istilik və mexaniki velosiped üçün struktur tələblərinə cavab vermək üçün.

Vakuum çaklarıadətən səthdə bir çox kiçik çuxur və ya kanal olan sərt bir səthdən hazırlanmışdır. Bu kiçik çuxurlar vasitəsilə çuch vakuum effekti yaradan vakuum nasosuna qoşula bilər. Wafter Chuck-a yerləşdirildikdə, vakuum nasosu açılır və hava kiçik dəliklər vasitəsilə, vaffer və çuch arasında vakuum yaradır. Bu vakuum effekti, vafonu chuck səthinə möhkəm bağlamaq üçün kifayət qədər əmzik yaradır.

Keramika səthləri tez-tez yüksək saflıq və kimyəvi sabitlik tələb edən tətbiqlərdə istifadə olunur. Keramika mineralların yüksək temperaturlu birləşməsi ilə istehsal olunan materiallardır. Ümumiyyətlə, keramika elektrik izolyatorları və ya yarımkeçiricilərdir və istilik parçalanma, eroziyaya və ziyan üçün yüksək müqavimət göstərir.

Semikorex, xüsusi silikon karbid vakuumu, ölçülər, məsvidlik, səthi örtük və vakuum kanalizasiyası üçün nümunələr üçün müştərinin xüsusiyyətlərinə görə xüsusi silikon karbid vakuumu qurur. İstehsal və təmiz otaq imkanlarımız nəticəsində, bütün yarımkeçirici fab və avadanlıq istehsalçılarının təmizlik tələblərini təmin etmək üçün aşağı hissəcik tökmə və təmizlik təklif edirik.

Hər hansı bir ölçülü vaflon üçün bir çəngə, 2 düymlükdən 12 düymlük vafdan və çuxuru vaffer emal avadanlıqlarına inteqrasiya etmək üçün uyğunlaşma edə bilərik. Ön son proseslər və / və ya arxa proseslər üçün istifadə edilə bilər, SIC vakuumunu iqtisadi, dəqiq, sabit və çirklənmə ilə yarımkeçirici Fab işlərində boş vaffer dəstəyi.

Silikon Carbide Vacuum Chuck, ən yaxşı materialları və mühəndisliyi birləşdirərək bugünkü yarımkeçirici istehsalında vacib bir vasitədir. İstilik və kimyəvi həddlər vasitəsilə davamlı və yapışqan etibarlılıq onu, mumlama, inceltmə, təmizlik və RTA daxil olan proses tətbiqlərində mükəmməl bir dəstək edir. Silikon Carbide Vakuum Chuck'ı semikorex üzərindən satın alaraq, ən yaxşı material saflığı, xüsusi həllər və bütün vafli emal xətləri boyunca üstün nəticələr üçün etibarlı performans təmin edirsiniz.