Silikon Carbide ICP etching plitəsi, yüksək saflı silikon silikon karbid keramikası ilə istehsal olunan əvəzolunmaz vafli sahibidir. Semikorex tərəfindən xüsusi olaraq hazırlanmışdır, bu, induktiv şəkildə birləşdirilmiş plazma (ICP) etching və çökmə sistemləri üçün ən vacib olan semikondüktor sənayesində.
Silikon karbidli ICP etching boşqabTitrəmə və ya yerdəyişmə ilə gətirilən dəqiqlikdən səmərəli şəkildə azaldılmasının qarşısını alaraq, incə dəstək və dəqiq yerləşdirmə, incə bir yerləşdirmə və dəqiq yerləşdirmə qabiliyyətidir.
Silikon Carbide ICP etching plakası istilik idarəetmə imkanlarına malikdir.Sic keramikSilikon Carbide ICP etching plaka, iş parçasının yerli həddindən artıq istiliyinin qarşısını almağa kömək edən və interching temperaturunun vahidliyini təmin etməyə kömək edən istiliyi tez bir zamanda yaymaq imkanı verir. SIC keramika, silikon karbidinin yaxşı ölçülü sabitliyini qorumaq və istilik genişlənməsi nəticəsində yaranan iş parçasının yerdəyişməsi və ya deformasiyasını azaltmaq üçün silikon karbidli ICP etching boşqabına imkan verir.
Əla sərtliyə və güc xüsusiyyətlərinə, silikon karbidli ICP etching boşqabına güvənmək, minimal deformasiya və ya zərər ilə interching prosesi zamanı rast gəlinən mexaniki stres və plazma təsirini dözmək qabiliyyətini göstərir. Bu qabiliyyət, yarımkeçirici cihazların məhsuldarlığını və istehsal səmərəliliyini təsirli şəkildə yaxşılaşdırır.
ICP əməliyyat mühiti yarımkeçirici səviyyəli təmizlik tələb edir. Semikorex'in silikon karbidli iCP etching plitəsi bu tələbi tam şəkildə qarşılaya bilər, kimyəvi qazlara (məsələn, xlor və flüor kimi) və ICP tirləmə mühitinin plazması ilə təsirli bir müqavimət göstərə bilər. Bu əlamətdar xüsusiyyət, interching əməliyyatları zamanı sərbəst buraxılan çirkləndiricilərin miqdarını azaltmaqla proses mühitini təmizləyir.
Semikorex, mövcud ICP etching sistemləri ilə problemsiz bir şəkildə inteqrasiya edən və müxtəlif konfiqurasiyalara uyğun olan silikon karbidli ICP etching plakasının xüsusi dizaynlarını təqdim edən istifadəçi rahatlığını prioritetləşdirir. Bu, hamar bir keçid əldə etməyə imkan verir, onu avadanlıq istehsalçıları üçün ideal bir yeniləmə həlli halına gətirir.