Silikon karbid fokus halqaları

Silikon karbid fokus halqalarıadətən aşındırma avadanlığının reaksiya kamerasında quraşdırılır, elektrostatik çuxurun vafli dayaq səthi ətrafında yerləşdirilir. Bu quraşdırma tənzimləməsi vaflinin kənarı ilə elektrod arasındakı hündürlük fərqini uğurla doldura bilər, vahid aşındırma əldə etmək üçün reaksiya kamerasındakı plazmanı vafli səthinə yönəldə bilər və həmçinin vafli kənarında həddindən artıq aşındırma probleminin qarşısını almaq üçün plazmanın vafli kənarından xaricə yayılmasının qarşısını alır.

Yüksək keyfiyyətli aşındırma komponentləri aşındırma prosesi üçün sabit elektrik sahəsi mühiti təmin edə bilər. Semicorex-in silisium karbid fokus halqaları yüksək məhsuldarlıqdan hazırlanırsilisium karbid materiallarıkimyəvi buxar çökmə yolu ilə. Fokus halqalarımız vafli ətrafında elektrik sahəsinin paylanmasını tənzimləməyə qadirdir, qeyri-bərabər elektrik sahələrinin səbəb olduğu aşınma sapmalarını və ya boşalma hadisələrini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır.

Yarımkeçirici vaflilər hissəciklərin çirklənməsinə asanlıqla həssasdırlar, buna görə də plazma aşındırma prosesləri ultra təmiz ionların aşındırılması reaksiya kameralarında aparılmalıdır. Aşınma avadanlığının əsas komponenti kimi, silikon karbid fokus halqaları faktiki əməliyyat zamanı vafli kənarı ilə birbaşa təmasda olur, həmçinin ultra yüksək təmizlik standartlarına cavab vermək üçün tələb olunur. Semicorex-in silisium karbid fokus üzükləri yüksək təmizlik və aşağı çirklilik üstünlüklərini təklif edir, bu da yarımkeçirici aşındırma proseslərinin ciddi təmizlik tələblərinə dəqiq cavab verə bilər. Bu, vafli qüsurlarının azaldılmasına böyük töhfə verir və vafli istehsalının məhsuldarlığını artırır.

Plazma aşındırma prosesi zamanı reaksiya kamerasına flüor və oksigen kimi aşındırıcı qazlar daxil olur. Aşınma avadanlığının kimyəvi korroziyaya davamlılığı texnoloji qazların yaratdığı uzunmüddətli korroziyaya görə ciddi şəkildə sınaqdan keçirilir. Plazma korroziyasına qarşı üstün müqavimət xüsusiyyəti ilə silisium karbid fokus halqasının istehsalı üçün optimal material seçimidir. Korroziya ilə əlaqəli komponentlərin zədələnməsi ehtimalını azaltmaqla və tez-tez dəyişdirmə və texniki qulluq ehtiyacını minimuma endirməklə, silisium karbid fokus halqaları yarımkeçirici vafli istehsalının səmərəliliyini əhəmiyyətli dərəcədə artıra bilər.