SiC örtüyü kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) prosesi vasitəsilə həssas təbəqənin üzərində nazik bir təbəqədir. Silikon karbid materialı silisiumla müqayisədə bir sıra üstünlüklər təmin edir, o cümlədən 10x parçalanma elektrik sahəsinin gücü, 3x zolaq boşluğu, bu da materialı yüksək temperatur və kimyəvi müqavimət, əla aşınma müqaviməti, eləcə də istilik keçiriciliyi ilə təmin edir.
Semicorex fərdiləşdirilmiş xidmət təqdim edir, daha uzun müddət davam edən komponentlərlə yeniliklər etməyə kömək edir, dövriyyə müddətlərini azaldır və məhsuldarlığı artırır.
SiC örtüyü bir sıra unikal üstünlüklərə malikdir
Yüksək Temperatur Müqaviməti: CVD SiC ilə örtülmüş sensor əhəmiyyətli termal deqradasiyaya məruz qalmadan 1600°C-ə qədər yüksək temperaturlara davam edə bilər.
Kimyəvi Müqavimət: Silikon karbid örtüyü turşular, qələvilər və üzvi həlledicilər də daxil olmaqla geniş çeşiddə kimyəvi maddələrə əla müqavimət göstərir.
Aşınma Müqaviməti: SiC örtüyü materialı əla aşınma müqaviməti ilə təmin edir və onu yüksək aşınma və yıpranma ilə əlaqəli tətbiqlər üçün uyğun edir.
İstilik keçiriciliyi: CVD SiC örtüyü materialı yüksək istilik keçiriciliyi ilə təmin edir, bu da onu səmərəli istilik ötürülməsi tələb edən yüksək temperatur tətbiqlərində istifadəyə uyğun edir.
Yüksək Güc və Sərtlik: Silikon karbidlə örtülmüş həssaslıq materialı yüksək möhkəmlik və sərtliklə təmin edərək onu yüksək mexaniki qüvvə tələb edən tətbiqlər üçün uyğun edir.
SiC örtüyü müxtəlif tətbiqlərdə istifadə olunur
LED İstehsalı: CVD SiC örtüklü susseptor yüksək istilik keçiriciliyinə və kimyəvi müqavimətinə görə mavi və yaşıl LED, UV LED və dərin UV LED də daxil olmaqla müxtəlif LED növlərinin işlənmiş istehsalında istifadə olunur.
Mobil rabitə: CVD SiC ilə örtülmüş sensor GaN-on-SiC epitaksial prosesini tamamlamaq üçün HEMT-nin mühüm hissəsidir.
Yarımkeçiricilərin emalı: CVD SiC örtüklü susseptor yarımkeçirici sənayesində müxtəlif tətbiqlər, o cümlədən vafli emalı və epitaksial böyümə üçün istifadə olunur.
SiC örtüklü qrafit komponentləri
Silicon Carbide Coating (SiC) qrafitindən hazırlanmış örtük yüksək sıxlıqlı qrafitin xüsusi növlərinə CVD üsulu ilə tətbiq edilir, beləliklə o, yüksək temperaturlu sobada inert atmosferdə 3000 °C, vakuumda 2200 °C-də işləyə bilər. .
Materialın xüsusi xassələri və aşağı kütləsi sürətli isitmə sürətinə, temperaturun vahid paylanmasına və nəzarətdə yüksək dəqiqliyə imkan verir.
Semicorex SiC Coating material məlumatları
Tipik xüsusiyyətlər |
Vahidlər |
Dəyərlər |
Struktur |
|
FCC β fazası |
Orientasiya |
Kəsr (%) |
111 üstünlük verilir |
Kütləvi sıxlıq |
q/sm³ |
3.21 |
Sərtlik |
Vickers sərtliyi |
2500 |
İstilik tutumu |
J kq-1 K-1 |
640 |
Termal genişlənmə 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Gəncin Modulu |
Gpa (4pt əyilmə, 1300℃) |
430 |
Taxıl ölçüsü |
μm |
2~10 |
Sublimasiya temperaturu |
℃ |
2700 |
Feleksual Gücü |
MPa (RT 4 bal) |
415 |
İstilik keçiriciliyi |
(Vt/mK) |
300 |
Nəticə CVD SiC ilə örtülmüş susseptor, zəbtedici və silisium karbidin xüsusiyyətlərini birləşdirən kompozit materialdır. Bu material yüksək temperatur və kimyəvi müqavimət, əla aşınma müqaviməti, yüksək istilik keçiriciliyi, yüksək möhkəmlik və sərtlik də daxil olmaqla unikal xüsusiyyətlərə malikdir. Bu xüsusiyyətlər onu müxtəlif yüksək temperatur tətbiqləri, o cümlədən yarımkeçiricilərin emalı, kimyəvi emal, istilik müalicəsi, günəş batareyası istehsalı və LED istehsalı üçün cəlbedici bir material halına gətirir.
Semicorex-in MOCVD Reaktorları üçün Susseptorları yarımkeçirici sənayesində silisium karbid təbəqələri və epitaksiya yarımkeçiriciləri kimi müxtəlif tətbiqlər üçün istifadə olunan yüksək keyfiyyətli məhsullardır. Məhsulumuz dişli və ya üzük şəklində mövcuddur və yüksək temperaturda oksidləşmə müqavimətinə nail olmaq üçün nəzərdə tutulmuşdur, bu da onu 1600°C-ə qədər temperaturda sabit edir.
Daha çox oxuSorğu göndərinFabrikamızdan Silikon Epitaksiya Qəlblərini satın aldığınızdan əmin ola bilərsiniz. Semicorex-in Silicon Epitaxy Susceptor, vafli çipinin epitaksial böyüməsi üçün yarımkeçirici sənayesində istifadə olunan yüksək keyfiyyətli, yüksək təmizlikli məhsuldur. Məhsulumuz, örtüyün bütün səthlərdə olmasını təmin edən və soyulmanın qarşısını alan üstün örtük texnologiyasına malikdir. Məhsul 1600°C-ə qədər yüksək temperaturda dayanıqlıdır, bu da onu ekstremal mühitlərdə istifadə üçün əlverişli edir.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex, MOCVD üçün SiC Susceptorun aparıcı istehsalçısı və təchizatçısıdır. Məhsulumuz vafli çipində epitaksial təbəqənin artırılmasında yarımkeçirici sənayenin ehtiyaclarını ödəmək üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdır. Məhsul MOCVD-də dişli və ya üzük formalı dizaynla mərkəz lövhə kimi istifadə olunur. Yüksək istilik və korroziyaya davamlıdır, bu da onu ekstremal mühitlərdə istifadə üçün ideal edir.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex, MOCVD üçün silikon karbid örtüklü qrafit həssaslığının etibarlı təchizatçısı və istehsalçısıdır. Məhsulumuz vafli çipində epitaksial təbəqənin artırılmasında yarımkeçirici sənayenin ehtiyaclarını ödəmək üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdır. Məhsul MOCVD-də dişli və ya üzük formalı dizaynla mərkəz lövhə kimi istifadə olunur. Yüksək istilik və korroziyaya davamlıdır, bu da onu ekstremal mühitlərdə istifadə üçün ideal edir.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex, SiC örtüklü MOCVD Qrafit Peyk Platformasının nüfuzlu təchizatçı və istehsalçısıdır. Məhsulumuz vafli çipində epitaksial təbəqənin artırılmasında yarımkeçirici sənayenin ehtiyaclarını ödəmək üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdır. Məhsul MOCVD-də dişli və ya üzük formalı dizaynla mərkəz lövhə kimi istifadə olunur. Yüksək istilik və korroziyaya davamlıdır, bu da onu ekstremal mühitlərdə istifadə üçün ideal edir.
Daha çox oxuSorğu göndərinSemicorex, vafli epitaksi üçün yüksək keyfiyyətli MOCVD Qapaq Ulduz Disk Plakasının tanınmış istehsalçısı və təchizatçısıdır. Məhsulumuz yarımkeçirici sənayenin ehtiyaclarını ödəmək üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdır, xüsusən də vafli çipdə epitaksial təbəqənin artırılması. Bizim susseptorumuz MOCVD-də dişli və ya üzük formalı dizaynla mərkəz lövhə kimi istifadə olunur. Məhsul yüksək istilik və korroziyaya yüksək davamlıdır, bu da onu ekstremal mühitlərdə istifadə üçün ideal edir.
Daha çox oxuSorğu göndərin