Silikon karbid çubuq

Semicorex Silicon Carbide Chuck əsas funksiyası kimyəvi buxarın çökməsi (CVD), aşındırma və litoqrafiya kimi yarımkeçiricilərin istehsalı proseslərinin müxtəlif mərhələlərində silisium vafliləri etibarlı şəkildə saxlamaq və sabitləşdirməkdir. yarımkeçiricilər istehsal edən avadanlıqların performansı və etibarlılığı.

Silikon Karbid çubuq yüksək istilik keçiriciliyinə görə bir sıra üstünlüklər təklif edir ki, bu da vaflinin səthində səmərəli istilik yayılmasına və temperaturun vahid paylanmasına imkan verir, istilik qradiyentlərini minimuma endirir və yüksək temperatur prosesləri zamanı vafli əyilmə və qüsurlar riskini azaldır. Materialın gücləndirilmiş sərtliyi və möhkəmliyi, fotolitoqrafiya və digər kritik proseslərdə hizalanma dəqiqliyini qorumaq üçün çox vacib olan vaflilərin sabit və dəqiq yerləşdirilməsini təmin edir. Bundan əlavə, Silicon Carbide Chuck əla kimyəvi müqavimət nümayiş etdirir, bu da onları yarımkeçirici istehsalında ümumi istifadə olunan aşındırıcı qazlara və kimyəvi maddələrə qarşı təsirsiz edir, beləliklə, çuxurun ömrünü uzadır və təkrar istifadə zamanı performansını saxlayır. Onların aşağı istilik genişlənmə əmsalı hətta həddindən artıq temperatur dalğalanmaları altında da ölçü sabitliyini təmin edərək, istilik velosipedi zamanı ardıcıl performansa və dəqiq nəzarətə zəmanət verir. Bundan əlavə, silisium karbidin yüksək elektrik müqaviməti əla elektrik izolyasiyasını təmin edir, elektrik müdaxiləsinin qarşısını alır və istehsal olunan yarımkeçirici cihazların bütövlüyünü təmin edir.

Kimyəvi Buxar Çöküntüsü (CVD): Silikon Karbid çubuqları, sabit və istilik keçirici platforma təmin edərək, nazik təbəqələrin çökməsi zamanı vafli saxlamaq üçün istifadə olunur.

Aşınma Prosesləri: Onların kimyəvi müqaviməti və sabitliyi Silikon Karbid Çakını reaktiv ion aşındırma (RIE) və digər aşındırma üsullarında istifadə üçün ideal hala gətirir.

Fotolitoqrafiya: Silicon Carbide Chuck-ın mexaniki dayanıqlığı və dəqiqliyi ekspozisiya prosesi zamanı fotomaskaların düzülməsini və fokusunu saxlamaq üçün vacibdir.

Gofret Təftişi və Sınaq: Silikon Karbid Çak optik və elektron yoxlama üsulları üçün sabit və termal cəhətdən ardıcıl platforma təmin edir.

Silicon Carbide Chuck, vafli emalı üçün etibarlı, sabit və termal cəhətdən səmərəli platforma təmin etməklə yarımkeçirici texnologiyanın inkişafında mühüm rol oynayır. İstilik keçiriciliyi, mexaniki möhkəmlik, kimyəvi müqavimət və elektrik izolyasiyasının unikal kombinasiyası onları yarımkeçiricilər sənayesində əvəzolunmaz komponentə çevirir, daha yüksək məhsuldarlığa və daha etibarlı yarımkeçirici cihazlara kömək edir.