Semicorex həm şaquli / sütun, həm də üfüqi konfiqurasiyalar üçün vafli qayıqlar, postamentlər və xüsusi vafli daşıyıcıları təmin edir. Biz uzun illər silisium karbid örtük filminin istehsalçısı və təchizatçısıyıq. Silikon karbid keramika vafli qayıqımız yaxşı qiymət üstünlüyünə malikdir və Avropa və Amerika bazarlarının əksəriyyətini əhatə edir. Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.
Semicorex silisium karbid keramika vafli qayıq, yarımkeçirici istehsalında vafli ilə işləmə və mühafizə üçün son həlldir.
Silisium karbid keramika vafli qayıqımız korroziyaya yaxşı müqavimət göstərən və yüksək temperaturlara və termal şoka mükəmməl müqavimət göstərən CVD üsulundan istifadə edilən silisium karbid (SiC) təbəqəsi ilə örtülmüş yüksək keyfiyyətli materialdan hazırlanmışdır. Qabaqcıl keramika yüksək tutumlu vafli daşıyıcılar üçün hissəcikləri və çirkləndiriciləri azaldaraq əla istilik müqaviməti və plazma davamlılığı təmin edir.
Silikon karbid keramika vafli qayığın parametrləri
Texniki xüsusiyyətlər |
||||
indeks |
Vahid |
Dəyər |
||
Materialın adı |
Reaksiya Sinterləşdirilmiş Silisium Karbid |
Təzyiqsiz Sinterlənmiş Silikon Karbid |
Yenidən kristallaşdırılmış silisium karbid |
|
Tərkibi |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Kütləvi sıxlıq |
q/sm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2.60-2.70 |
Bükülmə Gücü |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C)90-100(1400°C) |
Təzyiq gücü |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Sərtlik |
Knoop |
2700 |
2800 |
/ |
Dözümlülük |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
İstilikkeçirmə |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
İstilik genişlənmə əmsalı |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Xüsusi İstilik |
Joule/q 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Havada maksimum temperatur |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Elastik modul |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
SSiC və RBSiC arasındakı fərq:
1. Sinterləmə prosesi fərqlidir. RBSiC sərbəst Si-ni aşağı temperaturda silisium karbidinə sızdırmaqdır, SSiC 2100 dərəcədə təbii büzülmə nəticəsində əmələ gəlir.
2. SSiC daha hamar səthə, daha yüksək sıxlığa və daha yüksək gücə malikdir, daha ciddi səth tələbləri olan bəzi sızdırmazlıqlar üçün SSiC daha yaxşı olacaqdır.
3. Fərqli PH və temperatur altında fərqli istifadə müddəti, SSiC RBSiC-dən daha uzundur
Silikon karbid keramik vafli qayığın xüsusiyyətləri
Üstün istilik müqaviməti və istilik vahidliyi
Hamar bir səth üçün incə SiC kristalla örtülmüşdür
Kimyəvi təmizləməyə qarşı yüksək davamlılıq
Material çatlar və delaminasiyaların baş verməməsi üçün nəzərdə tutulmuşdur.