Semikorex silikon karbid qayıqları yarımkeçirici oksidləşmə və diffuziya prosesləri üçün hazırlanmış yüksək effektiv vafli daşıyıcılardır. Bu dəqiq mühəndisləşdirilmiş komponentlər optimal proses etibarlılığını və səmərəliliyini təmin edərək sükun boruları içərisində silikon gofreti üçün sabit, yüksək təmizlik mühiti təmin edir. *
Semikorex silikon karbid qayıqları, oksidləşmə və diffuziya prosesləri üçün tələb olunan həddindən artıq temperatura tab gətirməyə imkan verən müstəsna istilik sabitliyini nümayiş etdirir. Onların əla istilik şok müqaviməti, uzadılmış əməliyyat uzunömürlülüyünün təmin edilməsi, çatlama və ya deformasiya riskini minimuma endirir. Yüksək sıxlıqlı sic tərkibi, davamlı istilik velosipedi altında da struktur bütövlüyünü qoruyaraq üstün mexaniki güc təmin edir. Mexanik stresə bu müstəsna müqavimət, daha yüksək proses məhsuldarlığına töhfə verən vober çirklənmə və qırılma ehtimalını azaldır. Bundan əlavə, SIC qayıqları, oksidləşmə və yayılma addımlarında istifadə olunan aqressiv proses qazlarına qarşı hərəkətsiz kimyəvi müqavimət göstərən kimyəvi müqavimət göstərir. Bu xarakterik, vober təmizliyi və istehsal səmərəliliyini poza biləcək istenmeyen reaksiyaların qarşısını alır.
Silikon karbid qayıqları, ilk növbədə oksidləşmə və diffuziya sobalarında istifadə olunur, burada yüksək temperatur və reaktiv qazlara dafizə məruz qalması üzərində dəqiq nəzarət vacibdir. Yüksək keyfiyyətli silikon dioksid qatlarını artırmaq və dopant qazlarına nəzarət edilən məruzə ilə vahid dopinqi asanlaşdırmaq üçün istilik oksidləşməsi zamanı boşqablara dəstək olurlar. Bundan əlavə, onlar ilkinləşmə və uzun müddət istilik məruz qalması tələb edən digər yüksək temperatur müalicəsi üçün sabit bir platforma təmin edirlər.
Ənənəvi kvars və qrafit qayıqları ilə müqayisədə, silikon karbid gəmiləri müqayisə olunmayan davamlılığı, uzunömürlülük və performans təklif edir. Çirklənməni minimuma endirərkən sərt istilik və kimyəvi mühitlərə dözmək qabiliyyəti, yüksək dəqiqlikli yarımkeçirici istehsal üçün üstünlük verilən seçim halına gətirir. Keyfiyyət və yenilik mövzusunda bir diqqət, silikon karbid gəmilərimiz yüksək məhsuldarlığı və dünyada yarımkeçirici istehsalçıları üçün yüksək məhsuldarlıq və səmərəli vaffer emalını təmin edir. İnkişaf etmiş node texnologiyaları və ya miras yarımkeçirici uydurma istərsə də, bu qayıqlar ciddi sənaye tələblərinə cavab vermək üçün etibarlı bir həll təqdim edir.
(1) Daşıma və qorunma: silikon karbid gəmiləri daxili mötərizələri və ya yuvalarından və ya yuvalarından vafli kimi yarımkeçirici materiallar daşıyır və silikon karbid materiallarının yüksək temperaturu və korroziyasından xarici mühitdən qorunmaq üçün yüksək temperatur və korroziya müqavimətindən istifadə edir.
(2) Vahid istilik: Silikon karbid gəmisi, istilik müalicəsi zamanı içərisindəki boşluqların bərabər şəkildə qızdırılmasına imkan verir. Bu, vaffin hər bir hissəsinin istilik və reaksiya nisbətinin istilik müalicəsi zamanı ardıcıl olaraq qalmasını təmin edir və bununla da gofretin məhsuldarlığını və keyfiyyətini yaxşılaşdırır.
Hal hazırda üç əsas növ varsilikon karbid keramikaMateriallar: reaksiya çəkən, təzyiqsiz sinek və yenidən rectrilizasiya. Əksər tətbiqlərdə, sintered silikon karbidinin daha uyğun və qənaətli bir məhsuldur. Recressləşdirilmiş SIC qayıqları, əvvəlcə bir neçə vahid hissəsini bir neçə bölmə hissəsini birləşdirir və emal edir, sonra hissələri yüksək temperaturda bir qayıq içərisinə birləşdirmək və nəhayət CVD-sic örtük (təxminən 100um) tətbiq etmək üçün Si pastası istifadə edin. Recressləşmə məsaməli olduğundan, SIC örtüyü yoxdursa, bu da yarımkeçirici prosesə qismən təqdim edəcəkdir. CVD-SIC örtükləri olan Recrystallyləşdirilmiş SIC gəmisi ən uzun istehsal prosesi və çox bahadır. SIC örtülmüş qrafit qayıqları ilə müqayisədə CVD-sic örtüklü yenidən qurulmuş SIC qayıqları CTE uyğunsuzluq problemi yoxdur.