Sic gofret kaseti

Doğuşlu bir gəmi gəmisi olaraq da bilinən Semikorex SIC kaseti, xüsusən 1200 ° C-dən çox olan temperaturda oksidləşmə, yayılma və yanma əməliyyatları üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdır. Kasetlər əhəmiyyətli mexaniki dəstək, habelə yüksək temperaturlu soba istifadəsi zamanı bir çox gofret üçün uyğunlaşma və istilik stressində böyük mexaniki və ölçülü sabitlik nümayiş etdirir.  Voltu ilə işləmə sistemləri üçün ultra təmiz və istilik sabit materiallarına olan tələb, yarımkeçirici qurğuların ölçüsü və performansının artması üçün artdıqca artır.

Kaset yüksək təmizlikdən hazırlanmışdırsilikon karbid, daha da böyük fayda üçün tətbiq edilə bilən örtüklər də var. Sic əla istilik şoku, korroziya və ölçülü deformasiya sabitliyi var.  SIC, bənzərsiz sərtliyi, kimyəvi inaktness və istilik keçiriciliyi, bu proses mühiti üçün ideal bir materialdır. SIC, kvars və alüminiuma nisbətən alternativlər yüksək emal temperaturunda mexaniki və kimyəvi xüsusiyyətlərini azaltmayacaq və bununla da çirklənmə riskini azaldır və istehsal prosesləri zamanı vafli proses vahidliyini artırır.

SIC-in yüksək saflığı SIC-in yüksəkliyi, proses kamerasına daxil olan metal və ya ion çirkləndiricilərinə müqavimət göstərən; Yüksək saflıq üçün yüksək saflıq üçün tamamilə zəruri olan bir şey qabaqcıl yarımkeçirici istehsal prosesləri üçün tələblərə cavab verir. Çirkləndiricilərin mənbələrini minimuma endirməklə silikon karbid kasetləri gofret məhsuldarlığı və cihaz etibarlılığını artıracaqdır.

Semikorex'in dəqiq işləmə texnologiyası hər kasetin sıx tolerantlıq, vahid yuva meydançası və paralel hizalanma ilə istehsal olunmasına imkan verir. Materialların dəqiq işlənməsi, hamar vafli yükləmə və boşaltmanı dəstəkləyir, bu da boşqab işləyərkən cızıqların şansını azaldır. Dəqiq yuva boşluğu, proses dəyişkənliyini azaltmaqla oksidləşmə və yayılma sahəsində vahidliyi təbliğ edən bütün gofretlərdə vahid temperatur və hava axını üçün imkan verir.

SIC əla istilik keçiriciliyi, ölçülü sabitliyə malikdir və təkrar termal velosiped sürmə altında etibarlı performans təmin edir. Material sabitdir və çırpılmır və çatlamır; Yüksək sərtliyi, sürtünmə və ya mikro vibrasiya səbəbindən istenmeyen hissəciklərin ehtimalını məhdudlaşdırarkən, uzun müddət yüksək temperaturda, uzun müddət yüksək temperaturda quruluşu qoruyur.

Bundan əlavə,SisKimyəvi maddələrə qarşı inertlik, gofretləri emal zamanı (e.g. oksigen, ammien, ammiak, ammien, ammiak) reaksiya verərək qoruyur. Dafar kasetlər oksidləşən və atmosferlərdə sabitdir və oksidləşmə, diffuziya, lpcvd və yumrulama kimi bir sıra proseslər arasında soba iş axınına daxil edilə bilər.

Xüsusi proses tələblərinə cavab vermək üçün semikorex müxtəlif ölçülü, yuva saymalarında və konfiqurasiyalarda xüsusi SIC kasetləri təklif edir. Hər bir bölmə hamarlığı, təmizliyi və ölçülü dəqiqliyi təmin etmək üçün ciddi keyfiyyət yoxlama və səth müalicəsinə məruz qalır. İsteğe bağlı səth cilalamaq daha da hissəcik nəslini azaldır və avtomatlaşdırılmış vafli idarəetmə sistemləri ilə uyğunluğu artırır.